[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201410361083.7
• 申請日: 2014-07-25
• 公開（公告）號: CN104343699B
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 米爾科·馬科塔;揚·霍夫曼;烏韋·萊布;米夏埃爾·席爾;伯恩哈德·科赫
• 申請（專利權）人: 普發真空有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種真空泵，具有泵入口(10)、泵出口(12)、可繞旋轉軸(14)旋轉的轉子(16)、至少一個工藝氣體泵級、馬達空間(18)和驅動馬達(20)，工藝氣體泵級用于將所述泵入口(10)處的工藝氣體從所述泵入口(10)傳輸到所述泵出口(12)，所述驅動馬達(20)設置在所述馬達空間(18)中，所述驅動馬達(20)用于轉動地驅動轉子(16)，所述驅動馬達(20)包括馬達定子(22)，其特征在于，提供至少一個用于工藝氣體的氣體路徑，所述氣體路徑為從所述泵入口(10)到所述泵出口(12)，所述氣體路徑通過所述馬達空間(18)，并且至少部分地沿所述馬達定子(22)或通過所述馬達定子(22)；

提供設置在所述馬達定子(22)和所述轉子(16)之間的中間空間(24)，所述氣體路徑通向所述中間空間(24)；其中所述工藝氣體傳導經過所述中間空間(24)，并且沒有與所述轉子(16)直接接觸。

2.一種真空泵，具有泵入口(10)、泵出口(12)、可繞旋轉軸(14)旋轉的轉子(16)、至少一個工藝氣體泵級、馬達空間(18)和驅動馬達(20)，工藝氣體泵級用于將所述泵入口(10)處的工藝氣體從所述泵入口(10)傳輸到所述泵出口(12)，所述驅動馬達(20)設置在所述馬達空間(18)中，所述驅動馬達(20)用于轉動地驅動轉子(16)，所述驅動馬達(20)包括馬達定子(22)，其特征在于，提供至少一個用于工藝氣體的氣體路徑，所述氣體路徑為從所述泵入口(10)到所述泵出口(12)，所述氣體路徑通過所述馬達空間(18)，并且至少部分地沿所述馬達定子(22)或通過所述馬達定子(22)；

提供設置在所述馬達定子(22)和所述轉子(16)之間的中間空間(24)，所述氣體路徑通向所述中間空間(24)；其中還提供多個所述氣體路徑，以及至少一個所述氣體路徑穿過所述中間空間(24)，至少一個所述氣體路徑通向所述中間空間(24)。

3.如權利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，提供一個或者多個通道(32)，通過所述一個或者多個通道(32)，所述氣體路徑能夠延伸經過所述中間空間(24)，所述一個或者多個通道(32)在它們的部分外圍或者在它們的全部外圍上被所述馬達定子限定，至少一個通道(32)或者每個通道(32)被所述馬達定子(22)的切口或者開口(36)限定。

4.如權利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述馬達定子(22)具有芯(38)以及至少一個被所述芯(38)承載的線圈(42)，其中，所述芯(38)包括多個相互疊加的圓盤(40)，至少一個通道(32)或者每個通道(32)被所述圓盤(40)的切口或者開口限定。

5.如權利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述通道(32)被設置和/或布置，使得驅動馬達(20)在相對于旋轉軸(14)的總的旋轉角上產生大致均勻的驅動扭矩。

6.如權利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述馬達定子(22)上沒有通道(32)分布的區間在徑向上與至少一個通道(32)相對設置；和/或提供奇數個通道(32)，這些通道(32)均勻地分布在所述馬達定子(22)的外圍；和/或至少一個通道(32)至少面向它的部分長度，并且相對于所述驅動馬達(20)的所述旋轉軸(14)傾斜。

7.如權利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述馬達定子(22)上沒有通道(32)分布的區間在徑向上與每個通道(32)相對設置；和/或提供奇數個通道(32)，這些通道(32)均勻地分布在所述馬達定子(22)的外圍；和/或每個通道(32)面向它的全部長度，并且相對于所述驅動馬達(20)的所述旋轉軸(14)傾斜。

8.如權利要求3所述的真空泵，其特征在于，提供至少一個密封件，用于流體密封所述中間空間(24)。

9.如權利要求3所述的真空泵，其特征在于，提供塞班泵級(44)，用于傳輸工藝氣體進入所述馬達空間(18)。