[發(fā)明專利]鉬鈉管型靶材及其制造方法和鉬鈉靶材

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410360172.X
• 申請日: 2014-07-25
• 公開（公告）號: CN104087903A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王鐵軍;張鳳戈;唐培新;姚偉;楊本潤;姜海;陳錦;穆健剛;孟博
• 申請（專利權(quán)）人: 安泰科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F5/12
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李景輝

1.一種鉬鈉靶材，包含鉬、鈉兩種金屬元素，其特征在于，所述鉬鈉靶材的橫截面上的微觀結(jié)構(gòu)中，存在富鈉相的孤島，其中，各孤島的最大面積不大于1mm²。

2.如權(quán)利要求1所述的鉬鈉靶材，其特征在于，鈉元素含量為1wt％～5wt％，富鉬相的平均晶粒尺寸不大于200μm。

3.一種鉬鈉管型靶材的制造方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟A，混粉：將鉬粉與鈉源粉按比例稱量后，用三維混料機混合均勻，其中鈉元素的質(zhì)量分數(shù)為1wt％～5wt％；

步驟B，壓塊：將混合均勻的粉料通過壓塊形成管坯；

步驟C，氫氣燒結(jié)：將管坯在流動氫氣氣氛燒結(jié)爐內(nèi)進行還原燒結(jié)；

步驟D，將氫氣燒結(jié)后的管坯進行整形，達到目標(biāo)尺寸；

步驟E，用不銹鋼板、碳鋼板或鈦板作為包套材料，將整形后的管坯進行包套，將所述管坯的內(nèi)壁、外壁以及兩端包裹起來；

步驟F，將包套的管坯在熱等靜壓爐內(nèi)進行熱等靜壓致密化處；

步驟G，將熱等靜壓致密化處理后管坯進行機加工，使管坯達到設(shè)定的尺寸以及表面粗糙度。

4.如權(quán)利要求3所述的鉬鈉管型靶材的制造方法，其特征在于，所述鈉源為氟化鈉、碳酸鈉、碳酸氫鈉、硝酸鈉或鉬酸鈉。

5.如權(quán)利要求3所述的鉬鈉管型靶材的制造方法，其特征在于，所述步驟F具體為：將經(jīng)過整形的管坯裝入包套，然后放入脫氣爐中，邊加熱邊脫氣，真空度達到1×10^-2Pa后，用焊機將包套封焊。

6.如權(quán)利要求3所述的鉬鈉管型靶材的制造方法，其特征在于，整形加工后的管坯尺寸為180mm×250mm×35mm，表面粗糙度不大于Ra12.5，包套的材料為1.5mm厚的不銹鋼板、碳鋼板或鈦板，包套的尺寸為182mm×252mm×36mm，任意一側(cè)包套內(nèi)壁跟與之相鄰的管坯之間的間隙不大于1.5mm。

7.如權(quán)利要求5所述的鉬鈉管型靶材的制造方法，其特征在于，所述脫氣溫度400℃～600℃，所述焊機為氬弧焊機或等離子焊機。

8.如權(quán)利要求5所述的鉬鈉管型靶材的制造方法，其特征在于，步驟G中，所述熱等靜壓過程的壓力為150MPa～190MPa，溫度為700℃～1500℃，時間為3h～5h。

9.如權(quán)利要求3所述的鉬鈉管型靶材的制作方法，其特征在于，還包括：于所述鉬鈉管型靶材的內(nèi)壁表面上添加高分子保護膜的步驟，所述高分子保護膜經(jīng)由噴涂或涂抹的方式添加至所述鉬鈉管型靶材的內(nèi)壁表面上。

10.一種鉬鈉管型靶材，其特征在于，所述鉬鈉管型靶材包含鉬、鈉兩種金屬元素，其中鈉元素含量為1wt％～5wt％。

11.如權(quán)利要求10所述的鉬鈉管型靶材，其特征在于，所述鉬鈉管型靶材的純度大于99.9％，密度大于90％。