[發明專利]用于OLED高溫爐的石英卡夾裝置及石英卡夾底板

在審

• 申請號: 201410357327.4
• 申請日: 2014-07-24
• 公開（公告）號: CN104091778A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 余威
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種用于OLED高溫爐的石英卡夾裝置，其特征在于，包括一底座(10)、固定安裝于底座(10)上的數根石英柱(30)、位于底座(10)上方的石英卡夾底板(40)及數層位于石英卡夾底板(40)上方且卡夾于石英柱(30)上的石英卡板(50)；

所述石英卡夾底板(40)包括上底板(41)、下底板(42)及連接上、下底板的石英空柱(70)，對應每一石英空柱(70)設有一貫穿所述石英卡夾底板(40)的通孔(43)，所述通孔(43)的直徑大于所述石英柱(30)的直徑；

所述上底板(41)與下底板(42)之間設有數根第一連接柱(80)。

2.如權利要求1所述的用于OLED高溫爐的石英卡夾裝置，其特征在于，所述底座(10)上對應石英柱(30)設有數個固定部(20)，所述石英柱(30)固定安裝于該固定部(20)上。

3.如權利要求1所述的用于OLED高溫爐的石英卡夾裝置，其特征在于，所述第一連接柱(80)均勻分布于所述上、下底板(41)、(42)的邊緣，其由石英制成。

4.如權利要求3所述的用于OLED高溫爐的石英卡夾裝置，其特征在于，所述上底板(41)與下底板(42)之間還設有設置于所述上、下底板(41)、(42)的中心的數根第二連接柱(81)，該第二連接柱(81)由石英制成。

5.如權利要求4所述的用于OLED高溫爐的石英卡夾裝置，其特征在于，所述第一與第二連接柱(80)、(81)的直徑為1cm，所述石英空柱(70)與所述第一與第二連接柱(80)、(81)均通過熔接方式固定在上、下底板(41)、(42)上。

6.如權利要求1所述的用于OLED高溫爐的石英卡夾裝置，其特征在于，所述石英柱(30)對應于下底板(42)設有緊固件(60)，且于所述下底板(42)與所述緊固部件(60)之間設有一支撐片(61)，使下底板(42)支撐于所述石英柱(30)上。

7.一種用于OLED高溫爐的石英卡夾底板，其特征在于，包括上底板(41)、下底板(42)及連接上下底板的石英空柱(70)，對應每一石英空柱(70)設有一貫穿所述石英卡夾底板(40)的通孔(43)，所述上底板(41)與下底板(42)之間設有數根第一連接柱(80)。

8.如權利要求7所述的用于OLED高溫爐的石英卡夾底板，其特征在于，所述第一連接柱(80)均勻分布于所述上、下底板(41)、(42)的邊緣，其由石英制成。

9.如權利要求8所述的用于OLED高溫爐的石英卡夾底板，其特征在于，所述上底板(41)與下底板(42)之間還設有設置于所述上、下底板(41)、(42)的中心的數根第二連接柱(81)，該第二連接柱(81)由石英制成。

10.如權利要求7所述的用于OLED高溫爐的石英卡夾底板，其特征在于，所述第一與第二連接柱(80)、(81)的直徑為1cm，所述石英空柱(70)與所述第一與第二連接柱(80)、(81)均通過熔接方式固定在上、下底板(41)、(42)上。