[發明專利]監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系統在審
| 申請號： | 201410356387.4 | 申請日： | 2014-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN104101855A | 公開（公告）日： | 2014-10-15 |
| 發明（設計）人： | 沈茜;婁曉祺 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01R35/00 | 分類號： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 監控 探針 漏電 方法 系統 | ||
1.一種監控探針卡漏電的方法，其特征在于，包括以下步驟：
設定探針卡的每根探針的標準漏電流范圍；
獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
將所述漏電電流與所述標準漏電流范圍進行比對；
若所述漏電電流在所述標準漏電流范圍內，則所述漏電電流對應的探針卡上的針正常；
若所述漏電電流不在所述標準漏電流范圍，則所述漏電電流對應的探針卡上的針異常，則發出警報。
2.如權利要求1所述的監控探針卡漏電的方法，其特征在于，標準漏電流范圍為-3.00pA～3.00pA。
3.一種探針卡漏電監控系統，其特征在于，包括：
設定存儲模塊，用于設定探針卡的每根探針的標準漏電流范圍；
信息采集模塊，用于獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
處理模塊，用于將所述漏電電流與所述標準漏電流范圍進行比對。
4.如權利要求3所述的探針卡漏電監控系統，其特征在于，所述設定存儲模塊設定的標準漏電流范圍為-3.00pA～3.00pA。
5.如權利要求3所述的探針卡漏電監控系統，其特征在于，還包括信息輸出模塊，用于輸出所述探針卡每根探針的漏電電流。
6.如權利要求5所述的探針卡漏電監控系統，其特征在于，采用顯示器作為所述信息輸出模塊。
7.如權利要求3所述的探針卡漏電監控系統，其特征在于，所述處理模塊對所述探針卡每根探針的漏電電流與-3.00pA～3.00pA進行比對。
8.如權利要求3所述的探針卡漏電監控系統，其特征在于，還包括喇叭，當所述漏電電流不在所述標準漏電流范圍內時，所述喇叭發出警報。
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