[發明專利]監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系統

在審

• 申請號: 201410356387.4
• 申請日: 2014-07-24
• 公開（公告）號: CN104101855A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 沈茜;婁曉祺
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 王宏婧

技術領域

本發明涉及微電子領域，尤其是一種監控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監控系統。

背景技術

使用探針卡對半導體器件進行檢測是當今半導體器件測試中的一種十分常用的方法。使用探針卡進行測試是為了規格一致性而在硅片集成電路上進行的電學參數測試，通過使用探針卡對硅片的測試能夠發現被測硅片存在的缺陷，避免將有缺陷的硅片投入市場，同時在發現了存在缺陷的硅片后能夠將數據反饋給半導體工程師，從而發現并糾正制造過程中的問題。

硅片在生產完成后被安裝在印刷電路板(PCB)上，當印刷電路板生產完畢后，這時如果在對PCB進行的檢測中發現問題，需要極其復雜的診斷過程和人工分析才能找到問題的原因。如果是集成電路的問題，這就需要將存在問題的集成電路拆卸下來，將替換的集成電路安裝上去，由于當下大規模集成電路的封裝一般都是球柵陣列封裝(Ball?Grid?Array?Package，BGA)，使得手工拆卸幾乎不可能，因此在拆卸過程中需要使用專業的工具。由此可見，如果在印刷電路板的生產完畢后才測試出問題，對于生產的影響是大大高于單片階段的發現問題的，對于復雜的設備，如果在整機階段才發現集成電路的問題，其對于生產的影響是更為巨大的。

所以，對于集成電路生產時的測試是很有意義的。

而對于集成電路生產時的測試通常采用探針卡對芯片進行測試，探針卡是自動測試儀與待測器件之間的橋梁，通過探針卡實現測試儀和被測芯片的連接。因此在測試過程中探針卡的狀態是十分重要的，因此需要對探針卡進行漏電檢查。探針卡漏電合格則可以正常測試，不合格則需要維修才能測試。

現有技術都需要工程師拿著探針卡在機臺中手動進行漏電檢查，檢查合格則進行測試。但在芯片測試過程中，工程師往往看不到結果，總是在數據出現異常時再去檢查探針卡的漏電，往往這時已經影響到許多待測器件。而且，數據出現異常也有可能是機臺上的部件出現故障，很難分辨出是機臺的故障還是探針卡漏電異常。

發明內容

本發明的目的在于提供一種監控探針卡漏電的方法，能夠長時間的監控探針卡的漏電結果，并能及時發現探針卡漏電異常，還能經過分析判斷是機臺故障還是探針卡漏電異常。

為了達到上述目的，本發明所提供的技術方案為：

一種監控探針卡漏電的方法，包括以下步驟：

設定探針卡的每根探針的標準漏電流范圍；

獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；

將所述漏電電流與所述標準漏電流范圍進行比對；

若所述漏電電流在所述標準漏電流范圍內，則所述漏電電流對應的探針卡上的針正常；

若所述漏電電流不在所述標準漏電流范圍，則所述漏電電流對應的探針卡上的針異常，則發出警報。

優選的，在上述監控探針卡漏電的方法中，標準漏電流范圍為-3.00pA～3.00pA。

一種探針卡漏電監控系統，包括：

設定存儲模塊，用于設定探針卡的每根探針的標準漏電流范圍；

信息采集模塊，用于獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；

處理模塊，用于將所述漏電電流與所述標準漏電流范圍進行比對。

優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，所述設定存儲模塊設定的標準漏電流范圍為-3.00pA～3.00pA。

優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，還包括信息輸出模塊，用于輸出所述探針卡每根探針的漏電電流。

優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，采用顯示器作為所述信息輸出模塊。

優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，所述處理模塊對所述探針卡每根探針的漏電電流與-3.00pA～3.00pA進行比對。

優選的，在上述一種探針卡漏電監控系統中，還包括喇叭，當所述漏電電流不在所述標準漏電流范圍內時，所述喇叭發出警報。

上述技術方案具有如下優點或有益效果：

本發明通過設定探針卡的每根探針的標準漏電流范圍，在獲取探針卡的每根探針的漏電電流后，與所述標準漏電流范圍進行比對，來判斷探針卡漏電是否異常，若出現異常，則向工程師發出警報，工程師則可以第一時間發現探針卡的漏電異常。同時還可以對同一機臺上工作過的多個探針卡的漏電電流分析，若連接所述機臺同一PIN腳的多個探針卡均出現漏電異常，則可判斷為機臺故障，而且根據PIN腳可判斷出機臺上出現故障的具體部件。

附圖說明

圖1為本發明實施例中監控探針卡漏電的方法的步驟示意圖；

圖2為本發明實施例中探針卡漏電監控系統的原理示意圖。

具體實施方式