[發(fā)明專利]熱處理裝置用的腔室及熱處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410356050.3
• 申請(qǐng)日: 2014-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN104347454B
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 笠次克尚;西村圭介;浦崎義彥;森川清彥;中西裕也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光洋熱系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,黃綸偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于在被加熱的環(huán)境下對(duì)被處理物進(jìn)行處理的熱處理裝置的腔室、以及熱處理裝置。

背景技術(shù)

公知有用于對(duì)玻璃基板等處理基板進(jìn)行熱處理的熱處理裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。作為熱處理裝置的一個(gè)例子，專利文獻(xiàn)1中記載的熱處理裝置具有熱處理容器。該熱處理容器是石英管。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010－177653號(hào)公報(bào)(0017段)

近年來，隨著處理基板的大型化，石英管的尺寸也有大型化的傾向。其中，由于強(qiáng)度方面的理由等，難以用金屬制的管來代替石英管。因此，謀求更大尺寸的石英管。然而，制作大型的石英管難易程度高。具體來說，上述的石英管是單獨(dú)一個(gè)部件。因此，例如在制作石英管時(shí)，會(huì)產(chǎn)生這樣的作業(yè)：分別制作石英管的側(cè)壁和端壁，然后，將這些大型的側(cè)壁和端壁焊接起來。這樣的焊接作業(yè)是花費(fèi)勞力和時(shí)間的。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述情況，其目的在于，對(duì)于熱處理裝置用的腔室，即使是大型的，也能夠進(jìn)一步減少制作所花費(fèi)的勞力和時(shí)間。

(1)為了解決上述課題，該發(fā)明的某個(gè)方面的熱處理裝置用的腔室的特征在于，其具備：筒狀的側(cè)壁，其用于包圍被處理物；以及端壁，其封閉所述側(cè)壁的一方的開口部，所述腔室是將以氧化硅為主要成分的多個(gè)部件機(jī)械結(jié)合起來而形成的。

另外，上述的“機(jī)械結(jié)合”是指，將多個(gè)部件在維持彼此為單個(gè)部件的(能夠分離的)狀態(tài)的狀態(tài)下，相互結(jié)合起來。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，腔室由以氧化硅為主要成分的部件形成。由此，腔室的強(qiáng)度和耐熱性優(yōu)異，能夠充分地承受在高溫環(huán)境下的使用。并且，腔室是將多個(gè)部件機(jī)械結(jié)合起來而形成的。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在制作腔室時(shí)，能夠盡可能減少焊接多個(gè)部件這樣的花費(fèi)勞力和時(shí)間的作業(yè)。因此，能夠不受腔室的尺寸的限制，進(jìn)一步減少腔室的制作所花費(fèi)的勞力和時(shí)間。依照上述內(nèi)容，根據(jù)本發(fā)明，對(duì)于熱處理裝置用的腔室，即使是大型的，也能夠進(jìn)一步減少制作所花費(fèi)的勞力和時(shí)間。

(2)優(yōu)選的是，所述多個(gè)部件的材質(zhì)包括玻璃、石英和陶瓷中的至少一種。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠比較容易地實(shí)現(xiàn)強(qiáng)度和耐熱性優(yōu)異的腔室。

(3)優(yōu)選的是，所述多個(gè)部件包括多個(gè)平板狀部件和多個(gè)第1連結(jié)部件，多個(gè)所述平板狀部件以整體上構(gòu)成筒形的方式排列，所述第1連結(jié)部件將鄰接的所述平板狀部件彼此連結(jié)起來。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過組合多個(gè)平板狀部件，能夠?qū)崿F(xiàn)筒狀的側(cè)壁。并且，多個(gè)平板狀部件例如能夠以重疊的狀態(tài)進(jìn)行輸送。因此，能夠容易地進(jìn)行平板狀部件的輸送作業(yè)、即側(cè)壁的輸送作業(yè)。并且，通過組合平面形狀的平板狀部件，能夠形成立體形狀的側(cè)壁。由此，能夠進(jìn)一步減少側(cè)壁的制造所花費(fèi)的勞力和時(shí)間。

(4)更優(yōu)選的是，所述多個(gè)部件包括梁狀的第2連結(jié)部件，所述第2連結(jié)部件以將多個(gè)所述平板狀部件彼此連結(jié)起來的方式架設(shè)于多個(gè)所述平板狀部件。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，多個(gè)平板狀部件利用梁部件而相互結(jié)合。由此，能夠防止側(cè)壁的平板狀部件傾倒。

(5)優(yōu)選的是，所述端壁形成為平板狀，并被載置于所述側(cè)壁的一端。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過在側(cè)壁的一端載置平板狀的端壁這樣的簡易的作業(yè)就能夠?qū)崿F(xiàn)利用端壁覆蓋側(cè)壁的一端的結(jié)構(gòu)。

(6)為了解決上述課題，該發(fā)明的某個(gè)方面的熱處理裝置具備：上述的熱處理裝置用的腔室；以及氣壓調(diào)整機(jī)構(gòu)，其用于使所述腔室內(nèi)的空間的氣壓比所述腔室外的空間的氣壓高。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，腔室由以氧化硅為主要成分的部件形成。由此，腔室的強(qiáng)度和耐熱性優(yōu)異，能夠充分地承受在高溫環(huán)境下的使用。并且，腔室是將多個(gè)部件機(jī)械結(jié)合起來而形成的。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在制作腔室時(shí)，能夠盡可能減少焊接多個(gè)部件這樣的花費(fèi)勞力和時(shí)間的作業(yè)。因此，能夠不受腔室的尺寸的限制，進(jìn)一步減少腔室的制作所花費(fèi)的勞力和時(shí)間。依照上述內(nèi)容，根據(jù)本發(fā)明，對(duì)于熱處理裝置用的腔室，即使是大型的，也能夠進(jìn)一步減少制作所花費(fèi)的勞力和時(shí)間。并且，氣壓調(diào)整機(jī)構(gòu)以使腔室內(nèi)的空間的氣壓比腔室外的空間的氣壓高的方式進(jìn)行動(dòng)作。由此，能夠抑制在腔室的外部存在的異物(顆粒)侵入到腔室內(nèi)的空間。因此，即使在組裝式的腔室的側(cè)壁和端壁之間等產(chǎn)生間隙，也能夠抑制腔室的外部的異物侵入到腔室內(nèi)的空間。因此，能夠抑制上述異物附著于被處理物的情況。由此，根據(jù)本發(fā)明的熱處理措施，與腔室形成為單獨(dú)一個(gè)部件的情況同樣地，能夠抑制因異物附著到被處理物造成的、被處理物產(chǎn)生不良的情況。

發(fā)明效果