[發(fā)明專利]熱處理裝置用的腔室及熱處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410356050.3
• 申請(qǐng)日: 2014-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN104347454B
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 笠次克尚;西村圭介;浦崎義彥;森川清彥;中西裕也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光洋熱系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,黃綸偉

1.一種熱處理裝置用的腔室，其特征在于，

所述熱處理裝置用的腔室具備：

筒狀的側(cè)壁，其用于包圍被處理物；以及

端壁，其封閉所述側(cè)壁的一方的開口部，

所述腔室是將以氧化硅為主要成分的多個(gè)部件機(jī)械結(jié)合起來(lái)而形成的，

所述端壁具有多個(gè)平板狀部件被依次配置的結(jié)構(gòu)，從而整體上形成為平板狀，

所述多個(gè)部件包括用于形成所述側(cè)壁的多個(gè)平板狀部件和多個(gè)第1連結(jié)部件，

所述側(cè)壁中的多個(gè)所述平板狀部件以整體上構(gòu)成筒形的方式排列，

所述第1連結(jié)部件構(gòu)成為將所述側(cè)壁中的鄰接的所述平板狀部件彼此連結(jié)起來(lái)，

所述第1連結(jié)部件具有一對(duì)槽部，

所述一對(duì)槽部與所述側(cè)壁中的對(duì)應(yīng)的所述平板狀部件的一個(gè)緣部嵌合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置用的腔室，其特征在于，

所述多個(gè)部件包括梁狀的第2連結(jié)部件，

所述第2連結(jié)部件以將所述側(cè)壁中的多個(gè)所述平板狀部件中的相互平行地并列的2個(gè)平板狀部件彼此連結(jié)起來(lái)的方式架設(shè)于所述側(cè)壁中的多個(gè)所述平板狀部件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱處理裝置用的腔室，其特征在于，

所述端壁被載置于所述側(cè)壁的一端和所述第2連結(jié)部件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置用的腔室，其特征在于，

所述多個(gè)部件的材質(zhì)包括玻璃、石英和陶瓷中的至少一種。

5.一種熱處理裝置，其特征在于，

所述熱處理裝置具備：

權(quán)利要求1～權(quán)利要求4中的任一項(xiàng)所述的熱處理裝置用的腔室；以及

氣壓調(diào)整機(jī)構(gòu)，其用于使所述腔室內(nèi)的空間的氣壓比所述腔室外的空間的氣壓高。