[發明專利]不良檢查系統及其方法

有效

• 申請號: 201410352778.9
• 申請日: 2014-07-23
• 公開（公告）號: CN105319219B
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 姜志浩;柳林水
• 申請（專利權）人: 塞米西斯科株式會社
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

本發明公開一種能夠降低費用的不良檢查系統及其方法。所述不良檢查方法包括：第一不良檢查步驟，其在向第一方向移送第一基板的同時檢查所述第一基板的一部分；以及第二不良檢查步驟，其在向第二方向移送所述第一基板的同時檢查所述第一基板的其他部分。其中所述第一方向與所述第二方向不同。本發明的不良檢查系統及其方法可利用兩個攝像頭檢查向第一方向移送的第一基板的邊緣中的一部分，并利用兩個攝像頭檢查向第二方向移送的第一基板的其他邊緣。即，所述不良檢查系統用四個攝像頭即可檢查基板上的所有邊緣的不良，設置的攝像頭數量比現有的不良檢查系統少。因此能夠大幅降低上述不良檢查系統的費用。

技術領域

本發明涉及一種不良檢查系統及其方法。

背景技術

通過檢查基板不良來預先檢測出現不良的基板是非常重要的。通常如圖1所示地進行基板的邊緣不良檢查。

圖1為顯示通常的基板邊緣不良檢查的示意圖。

如圖1所示，基板的橫切方向設置有攝像頭102，攝像頭102檢查基板的邊緣不良。此時基板的四個邊緣均需要檢查，因此需要多個攝像頭。

尤其，用于不良檢查的攝像頭價格高，因此不良檢查系統的費用相當高。

現有技術文獻

專利文獻：韓國授權專利公報第1251852(授權日期：2013年4月1日)。

發明內容

技術問題

本發明的目的為提供一種能夠降低費用的不良檢查系統及其方法。

技術方案

為達成上述目的，根據本發明一個實施例的基板不良檢查方法包括：第一不良檢查步驟，其在向第一方向移送第一基板的同時檢查所述第一基板的一部分；以及第二不良檢查步驟，其在向第二方向移送所述第一基板的同時檢查所述第一基板的其他部分。其中所述第一方向與所述第二方向不同。

根據本發明另一實施例的基板不良檢查系統包括：支撐結構體(Profilestructure)，其包括支撐件(Profile)；第一圖像獲取裝置，其設置于所述支撐結構體的一部分；以及第二圖像獲取裝置，其設置于所述支撐結構體的其他部分。其中所述第一圖像獲取裝置在第一基板向第一方向移送時檢查所述第一基板的一部分，所述第二圖像獲取裝置在所述第一基板向不同于所述第一方向的第二方向移送時檢查所述第一基板的其他部分。

根據本發明一個實施例的基板不良檢查系統包括作為機械手移動空間的移送通道部、轉臺及清洗機。其中，在被所述清洗機清洗的第一基板從所述清洗機向所述轉臺移送期間接受第一次不良檢查，在所述第二基板從所述轉臺移送到所述移送通道部期間接受第二次不良檢查。

根據本發明一個實施例的支撐結構體包括：支撐件，其形成有槽；支架，其支撐用于檢查不良的圖像獲取裝置；螺母，其插入到所述支撐件的槽內；以及結合構件，其貫通所述支架結合到所述螺母，將所述圖像獲取裝置固定在所述支撐件。

技術效果

本發明的不良檢查系統及其方法可利用兩個攝像頭檢查向第一方向移送的第一基板的邊緣中的一部分，并利用兩個攝像頭檢查向第二方向移送的第一基板的其他邊緣。即，所述不良檢查系統用四個攝像頭即可檢查基板上的所有邊緣的不良，設置的攝像頭數量比現有的不良檢查系統少。因此能夠大幅降低上述不良檢查系統的費用。

附圖說明

圖1為顯示一般的基板的邊緣不良檢查的示意圖；

圖2為顯示本發明第一實施例的不良檢查系統的示意圖；

圖3為顯示本發明第二實施例的不良檢查系統的示意圖；

圖4為顯示本發明一個實施例的處理工序的框圖；