[發明專利]不良檢查系統及其方法

有效

• 申請號: 201410352778.9
• 申請日: 2014-07-23
• 公開（公告）號: CN105319219B
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 姜志浩;柳林水
• 申請（專利權）人: 塞米西斯科株式會社
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種基板不良檢查方法，其特征在于，包括：

第一不良檢查步驟，其在向第一方向移送第一基板的同時檢查所述第一基板的一部分；以及

第二不良檢查步驟，其在向第二方向移送所述第一基板的同時檢查所述第一基板的其他部分，

其中，所述第一方向與所述第二方向相互垂直，

所述第一不良檢查步驟通過設置在包含于清洗機與轉臺之間的第一支撐結構體的第一支撐件上的兩個第一攝像頭檢查所述第一基板的邊緣中的一部分，所述第二不良檢查步驟通過設置在包含于所述轉臺與移動通信部之間的第二支撐結構體的第二支撐件上的兩個第二攝像頭檢查所述第一基板的其他邊緣，

對應于所述第二攝像頭的光源設置在所述第二支撐件上，所述第一支撐件與所述第二支撐件是不同的支撐件，將清洗后的第一基板放置在機械手的第一臂使其位于所述第二攝像頭與對應的光源之間，將清洗前的第二基板放置在機械手的第二臂，所述第一基板及所述第二基板放置在所述機械手的第一臂及第二臂的狀態下，所述第一臂從所述轉臺移送至所述移送通信部，所述第二臂從所述移送通信部移送至所述轉臺，通過同時移送所述第一臂及所述第二臂的過程中同時移送所述第一基板及所述第二基板，所述同時移送的期間通過所述第二攝像頭檢查所述第一基板的邊緣。

2.根據權利要求1所述的基板不良檢查方法，其特征在于：

所述第一基板從所述移送通道部移送到腔室接受特定工序，所述特定工序結束后從所述腔室移送到封裝盒。

3.一種基板不良檢查系統，其特征在于，包括：

支撐結構體，其包括支撐件；

第一圖像獲取裝置，其設置于所述支撐結構體的一部分；以及

第二圖像獲取裝置，其設置于所述支撐結構體的其他部分，

其中，所述第一圖像獲取裝置在第一基板向第一方向移送時檢查所述第一基板的邊緣中的一部分，所述第二圖像獲取裝置在所述第一基板向不同于所述第一方向的第二方向移送時檢查所述第一基板的其他邊緣，

機械手利用第一臂將清洗后的第一基板從轉臺移送至移送通信部，利用第二臂將清洗前的第二基板從所述移送通信部移送至所述轉臺，交換所述第一基板與所述第二基板的位置，所述第二圖像獲取裝置在所述第一基板與所述第二基板的位置交換期間檢查所述第一基板的其他邊緣。

4.根據權利要求3所述的基板不良檢查系統，其特征在于：

所述第一圖像獲取裝置設置于清洗機的內部或所述清洗機與轉臺之間，所述第二圖像獲取裝置設置于所述轉臺的內部或所述轉臺與移送通道部之間，

其中，清洗后的第一基板在所述清洗機的內部或所述清洗機與所述轉臺之間移送期間接受第一次檢查，檢查所述第一基板的邊緣中的一部分的不良，所述第一基板在所述轉臺的內部或所述轉臺與所述移送通道部之間移送期間接受第二次檢查，檢查所述第一基板的其他邊緣的不良。

5.根據權利要求3所述的基板不良檢查系統，其特征在于，還包括：

移送構件及升降構件，

其中，所述升降構件使位于所述移送構件上的所述第一基板上升，將上升的所述第一基板放置在所述機械手的第一臂上，在所述第一基板放置于所述第一臂狀態下所述第一臂移動期間，檢查所述第一基板的其他邊緣的不良。