[發明專利]一種便于在線維護的膜厚監控設備及其維護工藝

有效

• 申請號: 201410346697.8
• 申請日: 2014-07-21
• 公開（公告）號: CN104087908B
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 郭愛玉
• 申請（專利權）人: 郭愛玉;湯泓
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種應用于真空制膜鍍膜機中監控膜厚及鍍膜速率的監控儀器設備，尤指一種在對膜厚監控儀器設備進行維護時不需要停止生產作業線的一種便于在線維護的膜厚監控設備及其維護工藝。

背景技術

隨著科技的發展，出現了很多性能凸顯的產品，如LED原件、發光二極管、顯示器、鋼化玻璃等，而在對這些產品使用時，為了延長產品的使用壽命或提高產品的質量，通常會對這些產品進行制備薄膜或鍍膜保護，而在制膜或鍍膜過程中通常是采用真空鍍膜機在真空的狀態下進行制膜鍍膜， 真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，這些生產設備及工藝通常都是在真空狀態下進行，這樣才能提高及準確監控到制膜或鍍膜的質量，在對制膜或鍍膜的膜厚及速率進行監控時，通常是采用監控儀器設備，監控儀器設備的重要部件就是監控探頭，由于監控探頭的成分通常是石英晶精準片，在使用時間長的時候要對監控儀器設備或監控探頭進行更換、維修、養護等維護工作，由于監測探頭、晶片等都處于工作爐子內部，通常在進行維護工作時，會把整個作業線停止，然后將監控儀器設備工作所在工作爐體的真空空間進行放氣后，使得真空空間不再是真空狀態，這時再通過機械手或人工進入工作爐體進行維護工作，所以進行維護工作時停止整個生產作業線會給生產帶來很多不便，同時如人工進入工作爐體進行維護工作會使得工作爐體的清潔度遭到破壞，不僅增加維護成本，消耗大量因停工或處置真空狀態的時間，更重要的加大了維護的難度，且維護精度不高。

發明內容

為了彌補現有技術中的的不足，本發明旨在提供一種應用于真空制膜鍍膜機中監控膜厚及鍍膜速率的監控儀器設備，包括應用于真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，尤指一種在對膜厚監控儀器設備進行維護時不需要停止生產作業線的一種便于在線維護的膜厚監控設備及其維護工藝。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是：一種便于在線維護的膜厚監控設備，所述的設備主要包括監控系統、控制系統和工作爐體，監控系統與工作爐體連接，控制系統與監控系統電性相連；所述的監控系統包括監控探測儀、腔體和密封端蓋，監控探測儀為帶有監控探頭的長條桿狀，可伸縮移動安裝在腔體內部，從腔體一端貫穿腔體內部延伸到另外一端；當監控探測儀處于工作狀態時，控制系統控制監控探測儀往密封端蓋方向伸長移動，使得探頭部分貫穿密封端蓋延伸在腔體外；當監控探測儀處于維護狀態時，控制系統控制監控探測儀背向密封端蓋側收縮移動，使得探頭部分收縮在腔體內部；腔體正對收縮在腔體內部的探頭位置上開設有通孔，通孔上安裝有閥門，打開閥門后腔體內部通過閥門與外界環境相通，維護工具可以從閥門進入腔體內部對監控探測儀或探頭進行維護，關閉閥門使得通孔處于密封狀態；腔體上安裝有氣閥，氣閥上連接有壓力計；所述的腔體一端開口，密封端蓋安裝在腔體開口端，腔體通過密封端蓋與工作爐體連接；所述的密封端蓋密封鑲嵌在工作爐體內部，當密封端蓋關閉時，腔體內部與外界環境隔絕密封，當密封端蓋打開時，腔體內部與外界環境相通。

所述的監控探測儀通過與氣缸或馬達連接可伸縮移動式安裝在腔體內部。

所述的腔體為一端開口的圓柱體狀。

所述的氣閥可對腔體內部進行放氣或抽氣操作，壓力計顯示腔體內部的氣壓情況。

所述的密封端蓋包括滑軌結構和密封塊，滑軌結構直接安裝在腔體的開口端上，密封塊的厚度與滑軌結構上的滑槽相適配構成滑動連接，密封塊沿著滑槽移動可打開或密封腔體。

所述的設備在正常工作時，監控系統通過將密封端蓋密封鑲嵌在工作爐體內部使得監控系統與工作爐體連接成一體。