[發明專利]一種便于在線維護的膜厚監控設備及其維護工藝

有效

• 申請號: 201410346697.8
• 申請日: 2014-07-21
• 公開（公告）號: CN104087908B
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 郭愛玉
• 申請（專利權）人: 郭愛玉;湯泓
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種便于在線維護的膜厚監控設備，所述的設備主要包括監控系統、控制系統和工作爐體，監控系統與工作爐體連接，控制系統與監控系統電性相連；其特征在于：所述的監控系統包括監控探測儀、腔體和密封端蓋，監控探測儀為帶有監控探頭的長條桿狀，可伸縮移動安裝在腔體內部，從腔體一端貫穿腔體內部延伸到另外一端；當監控探測儀處于工作狀態時，控制系統控制監控探測儀往密封端蓋方向伸長移動，使得探頭部分貫穿密封端蓋延伸在腔體外；當監控探測儀處于維護狀態時，控制系統控制監控探測儀背向密封端蓋側收縮移動，使得探頭部分收縮在腔體內部；腔體正對收縮在腔體內部的探頭位置上開設有通孔，通孔上安裝有閥門，打開閥門后腔體內部通過閥門與外界環境相通，維護工具可以從閥門進入腔體內部對監控探測儀或探頭進行維護，關閉閥門使得通孔處于密封狀態；腔體上安裝有氣閥，氣閥上連接有壓力計；

所述的腔體一端開口，密封端蓋安裝在腔體開口端，腔體通過密封端蓋與工作爐體連接；

所述的密封端蓋密封鑲嵌在工作爐體內部，當密封端蓋關閉時，腔體內部與外界環境隔絕密封，當密封端蓋打開時，腔體內部與外界環境相通。

2.根據權利要求1所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的監控探測儀通過與氣缸或馬達連接可伸縮移動式安裝在腔體內部。

3.根據權利要求1所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的腔體為一端開口的圓柱體狀。

4.根據權利要求1所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的氣閥可對腔體內部進行放氣或抽氣操作，壓力計顯示腔體內部的氣壓情況。

5.根據權利要求1所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的密封端蓋包括滑軌結構和密封塊，滑軌結構直接安裝在腔體的開口端上，密封塊的厚度與滑軌結構上的滑槽相適配構成滑動連接，密封塊沿著滑槽移動可打開或密封腔體。

6.根據權利要求1-5任一項所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備，其特征在于：所述的設備在正常工作時，監控系統通過將密封端蓋密封鑲嵌在工作爐體內部使得監控系統與工作爐體連接成一體。

7.使用權利要求5所述的一種便于在線維護的膜厚監控設備的維護工藝，所述的維護工藝主要包括正常工作工藝和需要維護工藝，其特征在于：

當設備處于正常工作狀態時，監控探測儀的探頭部分處于收縮狀態收縮在腔體內部，使膜厚監控設備正常工作的工藝是，控制系統控制密封塊沿著滑軌結構的滑槽移動以關閉密封腔體，并控制氣閥對腔體內部進行抽氣操作，通過壓力計可以直觀的觀測到腔體內部的氣壓情況，直到腔體內部的空氣被抽盡處于真空狀態后關閉氣閥，然后控制密封塊沿著滑軌結構的滑槽移動打開腔體與工作爐體的真空環境相通，驅動監控探測儀往密封端蓋方向伸長移動，使得探頭部分貫穿密封端蓋延伸在腔體外處于工作爐體的內部環境，進行正常制膜或鍍膜時監控膜厚和速率；

當設備處于需要維護狀態時，監控探測儀的探頭部分處于伸長狀態延伸在腔體外部及工作爐體的內部，對膜厚監控設備進行維護的工藝是，控制系統驅動監控探測儀背向密封端蓋方向收縮移動，使得探頭部分脫離工作爐體工作環境收縮在腔體內部，然后控制密封塊沿著滑軌結構的滑槽移動以關閉密封腔體，并控制氣閥對腔體內部進行放氣操作，通過壓力計可以直觀的觀測到腔體內部的氣壓情況，直到腔體內部充滿空氣處于非真空狀態后打開閥門，使得腔體內部環境通過閥門與外界非真空環境相通，然后機械手或人工通過閥門進入腔體內部對監控探測儀或監控探測儀的探頭進行更換、修理、養護維護工作。