[發(fā)明專利]微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410346693.X
• 申請(qǐng)日: 2014-07-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104348326B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林素貞;吳名清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 智動(dòng)全球股份有限公司
• 主分類號(hào): H02K33/02
• 分類號(hào): H02K33/02;B81B7/00
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 朱振德

1.一種微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)，應(yīng)用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)于一硅基板形成的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，該可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)包括：

一第一框架部；

一第二框架部，該第二框架部設(shè)置于第一框架部?jī)?nèi)，且該第二框架部上設(shè)有一第一導(dǎo)電線圈回路；

二組第一彈簧結(jié)構(gòu)，二組該第二框架部分別設(shè)于該第二框架部在第一直線移動(dòng)方向的二側(cè)，用以連接該第二框架部于該第一框架部?jī)?nèi)，且在該第二框架部直線移動(dòng)時(shí)提供彈性回復(fù)力；

一可動(dòng)承載部，該可動(dòng)承載部設(shè)置于該第二框架部?jī)?nèi)，且該可動(dòng)承載部上設(shè)有一第二導(dǎo)電線圈回路；及

二組第二彈簧結(jié)構(gòu)，二組該第二彈簧結(jié)構(gòu)分別設(shè)于該可動(dòng)承載部在第二直線移動(dòng)方向的二側(cè)，用以連接該可動(dòng)承載部于該第二框架部?jī)?nèi)，且在該可動(dòng)承載部直線移動(dòng)時(shí)提供彈性回復(fù)力。

2.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該第一直線移動(dòng)與該第二直線移動(dòng)的方向互相垂直。

3.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該第二框架部的一表面，該第二導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動(dòng)承載部的一表面。

4.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該第二框架部的一表面，該第二導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動(dòng)承載部的一表面。

5.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該第二框架部的上、下表面，該第二導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動(dòng)承載部的上、下表面。

6.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該第二框架部的上、下表面，該第二導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動(dòng)承載部的上、下表面。

7.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路環(huán)繞設(shè)置于該第二框架部，該第二導(dǎo)電線圈回路環(huán)繞設(shè)置于該可動(dòng)承載部。