[發明專利]微機電系統的可動載具結構

有效

• 申請號: 201410346693.X
• 申請日: 2014-07-21
• 公開（公告）號: CN104348326B
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 林素貞;吳名清
• 申請（專利權）人: 智動全球股份有限公司
• 主分類號: H02K33/02
• 分類號: H02K33/02;B81B7/00
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 朱振德

本發明提供一種微機電系統的可動載具結構，應用微機電系統技術于一硅基板形成的可動載具結構，包括框架部、可動承載部，及二組彈簧結構分別設于可動承載部直線移動方向的二側用以連接可動承載部于框架部內；透過可動承載部上的導電線圈回路及組彈簧結構設計，通過線圈回路導入電流后與外界的鐵磁性材料相互作用而產生的作用力使可動承載部直線移動。該可動載具結構具有體積微小化、系統整合性佳、高光軸精度、批量化制造能力等優點。

技術領域

本發明有關一種利用微機電制程技術制作的可動載具結構，特別是一種以電流與磁場產生作用力磁力做為動力來源的可動載具結構，組裝應用上易于整合于現行的生產流程中，在商品化的過程中提高產能、減低生產成本。

背景技術

目前市面上的手機以及手提電腦等產品，多已廣泛配置微型數字鏡頭。為了提升產品競爭力，對于微型鏡頭的需求已不僅只用于定焦鏡頭，自動對焦以及光學變焦功能成為重要的要求。以自動對焦功能為例，則需要對于鏡片產生約十微米的位移量，雖然數字相機已是十分成熟的產品，但由于產品取向不同，手機、個人數字助理(Personal DigitalAssistant, PDA)與手提電腦并不能將一般數字相機所采用的步進馬達以及齒輪機構等體積較大的致動組件整合其中。

在多種可使用于小型微機電系統的可動載具結構的動力來源中，音圈馬達(VoiceCoil Motor, VCM)是一種理想的選擇，利用線圈產生的磁力與外部的磁性部件產生相互作用力，此作用力與結構上的彈簧相互作用后達到一個平衡狀態，即可達到定位的功效。由于音圈馬達的技術已使用于硬盤中的循軌動作許久，是一種相當成熟的技術。現行市售用于微型數字鏡頭的外部微機電系統的可動載具結構，將裝有鏡片的鏡筒固定于該微機電系統的可動載具結構內，并于后方裝置感光組件后整合成一個具有對焦能力的微型相機模塊。

目前已有實際商品化的VCM 微機電系統的可動載具結構產品，但由于其相對較大的體積，使得產品不易輕巧化，且組裝過程以及零件數量亦較為繁瑣，使組裝成本高且良率不易提升。此外，傳統機械制程的精密度限制亦影響光學成像質量。

發明內容

本發明的目的是在提供一種微機電系統的可動載具結構，透過微機電系統(Microelectromechanical System,MEMS)技術生產的可動載具結構，以電流與磁場產生作用力的原理驅動載具，載具也帶動置于其上的負載，應用可整合于微型相機模塊的光學系統內以達到調焦功能，與過去的傳統的可動載具結構相比，本微機電系統的可動載具結構具有體積微小化、系統整合性佳、高光軸精度、批量化制造能力等優點。

本發明另一目的在提供一種微機電系統的可動載具結構，透過微機電系統技術生產的可動載具結構，以電流與磁場產生作用力的原理驅動載具，使載具在兩軸位移，整合載具結構與影像傳感器，使影像傳感器做兩軸運動，達到光學影像防震(Optical ImageStabilization, OIS)的功能。

為了達到上述目的，本發明提供了一種微機電系統的可動載具結構，應用微機電系統技術于一硅基板形成的可動載具結構，該可動載具結構包括：

一框架部；

一可動承載部，該可動承載部設置于該框架部內，且該可動承載部上設有一導電線圈回路；及

二組彈性結構，二組該彈性結構分別設于該可動承載部在直線移動方向的二側并用以連接該可動承載部于該框架部內，且在該可動承載部直線移動時提供彈性回復力。

進一步地，其中，該導電線圈回路設置于該可動承載部的一表面。

進一步地，其中，該導電線圈回路內嵌設置于該可動承載部的一表面。

進一步地，其中，該導電線圈回路設置于該可動承載部的上、下表面。

進一步地，其中，該導電線圈回路內嵌設置于該可動承載部的上、下表面。