[發明專利]一種集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構

有效

• 申請號: 201410345490.9
• 申請日: 2014-07-18
• 公開（公告）號: CN104091745A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 王義林;張大梁;周向志
• 申請（專利權）人: 王義林;張大梁;周向志
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/28;H01J37/22;H01J37/244
• 代理公司: 杭州裕陽專利事務所(普通合伙) 33221
• 代理人: 應圣義

技術領域

本發明涉及透射電子顯微鏡的附件結構設計，尤其涉及一種集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構。?

背景技術

透射電子顯微鏡Transmission?Electron?Microscope，簡稱TEM，透射電子顯微鏡是以波長極短的電子束作為照明源，用電磁透射聚焦成像的一種高分辨率、高放大倍數的電子光學儀器。?

針對透射電子顯微鏡使用過程中拍攝高分辨電子顯微圖像，拍攝電子衍射以及對樣品進行原位分析等不同應用目的使得所使用的CCD相機類型均不同，所以，在一臺透射電子顯微鏡上配備單一CCD相機配置難以滿足需要。為解決上述問題，現有的方案是在透射電子顯微鏡上安裝底插式CCD相機和側插式CCD相機，底插式CCD相機和側插式CCD相機分別安裝在透射電子顯微鏡的的底片室底部和鏡筒側部。?

掃描透射電子顯微鏡Scanning?Transmission?Electron?Microscope，簡稱STEM，其是利用磁透鏡將電子束聚焦到樣品表面并在樣品表面快速掃描，通過電子穿透樣品成像。在掃描模式下，電子源發射出電子，通過在樣品前磁透鏡將電子束會聚成小尺度的束斑，電子束斑聚焦在試樣表面后，通過線圈控制逐點掃描樣品的一個區域。在每掃描一點的同時，樣品下面的STEM探測器同步接收電子。對應于每個掃描位置的探測器接收到的信號轉換成電流強度顯示在熒光屏或計算機顯示器上。使用STEM明場探測器或STEM暗場探測器則可以分別獲得STEM明場圖像和STEM暗場圖像。STEM明場探測器和STEM暗場探測器需要安裝在透射電子顯微鏡鏡筒側部接口。?

一臺透射電子顯微鏡的費用通常達到幾百萬人民幣，因此，針對一臺透射電子顯微鏡，人們通常需要加裝各種附件，以使功能最大化，在現有技術條件下，透射電子顯微鏡側部接口數量受到安裝位置的限制，在安裝了STEM明場探測器和暗場探測器之后，無法安裝側插式CCD相機；安裝了側插式CCD相機之后，則STEM明/暗場探測器只能選裝一個，進而導致透射電子顯微鏡不能達到功能最大化的需求。?

發明內容

針對上述存在的問題，本發明提供一種集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構，以克服現有技術中的透射電子顯微鏡側部接口受到安裝位置的限制，導致不能實現功能最大化的需求的問題，從而既能夠安裝側插式CCD相機，又能夠安裝STEM明暗探測器，同時還在側部安裝CCD相機用熒光屏，進而滿足用戶對于透射電子顯微鏡的功能最大化的需求，實現超值的性價比。?

為了實現上述目的，本發明采取的技術方案為：?

一種集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構，其中，包括：具有側部接口的鏡筒和通過所述側部接口安裝在所述鏡筒上的調整部件，所述調整部件的一部分位于所述鏡筒內部，所述調整部件的另一部分位于所述鏡筒的外部；?

其中，位于所述鏡筒內部的調整部件上集成有TEM熒光屏和STEM探測器。?

上述的集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構，其中，所述調整部件為滑動機構，且所述滑動機構的正視面形狀為一直角梯形；?

其中，所述滑動機構的正視面為直角的一端位于所述鏡筒的外部。?

上述的集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構，其中，所述滑動機構的正視面的上底與位于所述鏡筒內部的所述滑動機構的正視面的腰之間的夾角為135°。?

上述的集成集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構，其中，所述TEM熒光屏安裝于位于所述鏡筒內部的所述滑動機構的正視面的腰面上，所述?STEM探測器安裝于位于所述鏡筒內部的所述滑動機構的正視面的上底面上。?

上述的集成集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構，其中，所述調整部件為翻轉機構，且所述翻轉機構的正視面形狀為一直角梯形；?

其中，所述翻轉機構的正視面為直角的一端位于所述鏡筒的外部。?

上述的集成集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構，其中，所述翻轉機構的正視面的上底與位于所述鏡筒內部的所述翻轉機構的正視面的腰之間的夾角為135°。?

上述的集成集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結構，其中，所述TEM熒光屏安裝于位于所述鏡筒內部的所述翻轉機構的正視面的腰面上，所述STEM探測器安裝于位于所述鏡筒內部的所述翻轉機構的正視面的下底面上。?

上述技術方案具有如下優點或者有益效果：?