[發(fā)明專利]一種集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410345490.9 | 申請日： | 2014-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN104091745A | 公開（公告）日： | 2014-10-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王義林;張大梁;周向志 | 申請（專利權(quán)）人： | 王義林;張大梁;周向志 |
| 主分類號： | H01J37/26 | 分類號： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/22;H01J37/244 |
| 代理公司： | 杭州裕陽專利事務(wù)所(普通合伙) 33221 | 代理人： | 應(yīng)圣義 |
| 地址： | 200434 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 集成 tem 熒光屏 stem 探測器 一體化 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：具有側(cè)部接口的鏡筒和通過所述側(cè)部接口安裝在所述鏡筒上的調(diào)整部件，所述調(diào)整部件的一部分位于所述鏡筒內(nèi)部，所述調(diào)整部件的另一部分位于所述鏡筒的外部；
其中，位于所述鏡筒內(nèi)部的調(diào)整部件上集成有TEM熒光屏和STEM探測器。
2.如權(quán)利要求1所述的集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整部件為滑動機構(gòu)，且所述滑動機構(gòu)的正視面形狀為一直角梯形；
其中，所述滑動機構(gòu)的正視面為直角的一端位于所述鏡筒的外部。
3.如權(quán)利要求2所述的集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述滑動機構(gòu)的正視面的上底與位于所述鏡筒內(nèi)部的所述滑動機構(gòu)的正視面的腰之間的夾角為135°。
4.如權(quán)利要求2所述的集成集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述TEM熒光屏安裝于位于所述鏡筒內(nèi)部的所述滑動機構(gòu)的正視面的腰面上，所述STEM探測器安裝于位于所述鏡筒內(nèi)部的所述滑動機構(gòu)的正視面的上底面上。
5.如權(quán)利要求1所述的集成集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)整部件為翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，且所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的正視面形狀為一直角梯形；
其中，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的正視面為直角的一端位于所述鏡筒的外部。
6.如權(quán)利要求5所述的集成集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的正視面的上底與位于所述鏡筒內(nèi)部的所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的正視面的腰之間的夾角為135°。
7.如權(quán)利要求5所述的集成集成TEM熒光屏和STEM探測器的一體化結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述TEM熒光屏安裝于位于所述鏡筒內(nèi)部的所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的正視面的腰面上，所述STEM探測器安裝于位于所述鏡筒內(nèi)部的所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的正視面的下底面上。
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