[發明專利]一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡

無效

• 申請號: 201410345392.5
• 申請日: 2014-07-18
• 公開（公告）號: CN104142130A
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 曲藝;蘇東奇;苗二龍;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B9/02;G02B27/09
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡，該參考鏡包括光闌、像差平衡組分、光焦度組分和參考面，其特征在于，還包括：擴束組分；干涉儀發出激光，通過光闌濾過口徑過大的部份，由擴束組分將光束的口徑擴大，經過像差平衡組分和光焦度組分后來到參考面，一部分光經由參考面反射，返回到干涉儀；另一部分通過參考面到達待測元件，經由待測元件反射，將帶有待測元件表面的光返回干涉儀；其中像差平衡組分平衡標準參考鏡的像差，光焦度組分確定標準參考鏡的光焦度。

2.根據權利要求1所述的一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡，其特征在于，所述光闌為中間有通光孔、表面染黑處理的金屬擋片。

3.根據權利要求2所述的一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡，其特征在于，所述的光闌尺寸范圍為100mm≤D≤307mm。

4.根據權利要求1所述的一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡，其特征在于，所述擴束組分為一片或者兩片的透明玻璃，其焦長范圍為-400mm≤f≤-100mm。

5.根據權利要求1所述的一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡，其特征在于，所述像差平衡組分為一片或者兩片的透明玻璃。

6.根據權利要求1所述的一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡，其特征在于，所述光焦度組分為一片、兩片或者三片的透明玻璃，焦長范圍為100mm≤f≤400mm。

7.根據權利要求1所述的一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡，其特征在于，所述參考面為凹面，其半徑范圍為50mm≤r≤200mm。

8.根據權利要求1所述的一種F數為0.6斐索激光干涉儀標準參考鏡，其特征在于，所述標準參考面的焦長范圍為350mm≤f≤1200mm，系統的視場為0.02度。