[發明專利]一種單晶坩堝自動噴涂設備

有效

• 申請號: 201410345239.2
• 申請日: 2014-07-20
• 公開（公告）號: CN104084340A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 費志瑾
• 申請（專利權）人: 蘇州塔可盛電子科技有限公司
• 主分類號: B05B13/06
• 分類號: B05B13/06;B05B7/24;B05B15/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種噴涂設備，具體是一種單晶坩堝自動噴涂設備。

背景技術

目前，在單晶石英坩堝的生產過程中，將氫氧化鋇噴涂在單晶石英坩堝的內壁可以提高單晶石英坩堝的壽命和提升單晶坩堝的成晶率。因此均勻和適量的噴涂是對該工藝的主要考核指標，傳統的噴涂方式大多是采用人工進行噴涂，勢必存在噴涂效率低，噴涂不均勻以及噴涂量難以控制等諸多缺點。

發明內容

本發明的目的在于提供一種單晶坩堝自動噴涂設備，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種單晶坩堝自動噴涂設備，包括放物臺，所述放物臺上固定卡接單晶坩堝，從而保證單晶坩堝的穩定，所述單晶坩堝內設有一個流體動力室，流體動力室通過雙孔導管連接在平臺上；所述流體動力室內設有主動風輪，主動風輪下方固連有擋盤，且擋盤的下方中心部連接有一個中空的導管，導管貫穿流體動力室底部室壁，導管在流體動力室的一端外圍設有若干個通孔，通孔連接導管內部；所述導管的另一端設有開口，且開口的一端設置在噴槍內；所述流體動力室的頂部設有兩個中心對稱的進氣接口；所述進氣接口分別通過管道連接雙孔導管內的通道，雙孔導管其中的一條通道通過輸液管與藥液箱連接，且輸液管上設有第一氮氣進口，所述藥液箱的頂部設有第二氮氣進口；雙孔導的另一條通道連接二氧化碳進氣管；所述平臺上放設有抽風機，抽風機的抽氣口連接端蓋，且抽風機連接布袋。

作為本發明進一步的方案：所述單晶坩堝的頂部設有與平臺連接的罩子。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：通過平臺和雙孔導管將流體動力室固定，并深入單晶坩堝內，通過雙孔導管將二氧化碳和混有氮氣的藥液高壓送入流體動力室的主動風輪上，從而帶動主動風輪轉動，通過流體動力室內的主動風輪和擋盤將二氧化碳和混有氮氣的藥液混合均勻從導管上的小孔送至噴槍內，從而對單晶坩堝進行噴涂，同時在單晶坩堝的上方設有罩子，通過抽風機將噴涂中產生的煙塵吸入至布袋中，即可以保證噴涂的藥液均勻，同時防止煙塵逸散，保護了環境，有利于工人的身體健康。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。

圖中：導管1、擋盤2、主動風輪3、進氣接口4、雙孔導管5、罩子6、第一氮氣進口7、輸液管8、藥液箱9、第二氮氣進口10、布袋11、抽風機12、平臺13、流體動力室14、噴槍15、單晶坩堝16、放物臺17、端蓋18、二氧化碳進氣管19。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

請參閱圖1，本發明實施例中，一種單晶坩堝自動噴涂設備，包括放物臺17，所述放物臺17上固定卡接單晶坩堝16，從而保證單晶坩堝16的穩定，所述單晶坩堝16內設有一個流體動力室14，流體動力室14通過雙孔導管5連接在平臺13上以便于平臺13上升帶出流體動力室14，所述單晶坩堝16的頂部設有與平臺13連接的罩子6；

所述流體動力室14內設有主動風輪3，主動風輪3下方固連有擋盤2從而將上方吹下的流體分散，使得氣流從主動風輪3和擋盤2之間的空隙流出，且擋盤2和主動風輪3可以將進入流體動力室14內的氣體和液體進行混合均勻，且擋盤2的下方中心部連接有一個中空的導管1，導管1貫穿流體動力室1底部室壁，導管1在流體動力室1的一端外圍設有若干個通孔，通孔連接導管1內部；所述導管1的另一端設有開口，且開口的一端設置在噴槍15內，從而使得噴槍15可以將混合均勻的液體噴出；所述流體動力室14的頂部設有兩個中心對稱的進氣接口4；

所述進氣接口4分別通過管道連接雙孔導管5內的通道，雙孔導管5其中的一條通道通過輸液管8與藥液箱9連接，且輸液管8上設有第一氮氣進口7，所述藥液箱9的頂部設有第二氮氣進口10；雙孔導管5的另一條通道連接二氧化碳進氣管19；所述平臺13上放設有抽風機12，抽風機12的抽氣口連接端蓋18以便于將罩子6底部的煙塵吸收，且抽風機12連接布袋11用于收集煙塵。