[發(fā)明專利]一種單晶坩堝自動噴涂設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410345239.2
• 申請日: 2014-07-20
• 公開（公告）號: CN104084340A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發(fā)明（設計）人: 費志瑾
• 申請（專利權）人: 蘇州塔可盛電子科技有限公司
• 主分類號: B05B13/06
• 分類號: B05B13/06;B05B7/24;B05B15/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種單晶坩堝自動噴涂設備，包括放物臺，其特征在于，所述放物臺上固定卡接單晶坩堝，從而保證單晶坩堝的穩(wěn)定，所述單晶坩堝內設有一個流體動力室，流體動力室通過雙孔導管連接在平臺上；所述流體動力室內設有主動風輪，主動風輪下方固連有擋盤，且擋盤的下方中心部連接有一個中空的導管，導管貫穿流體動力室底部室壁，導管在流體動力室的一端外圍設有若干個通孔，通孔連接導管內部；所述導管的另一端設有開口，且開口的一端設置在噴槍內；所述流體動力室的頂部設有兩個中心對稱的進氣接口；所述進氣接口分別通過管道連接雙孔導管內的通道，雙孔導管其中的一條通道通過輸液管與藥液箱連接，且輸液管上設有第一氮氣進口，所述藥液箱的頂部設有第二氮氣進口；雙孔導的另一條通道連接二氧化碳進氣管；所述平臺上放設有抽風機，抽風機的抽氣口連接端蓋，且抽風機連接布袋。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶坩堝自動噴涂設備，其特征在于，所述單晶坩堝的頂部設有與平臺連接的罩子。