[發(fā)明專利]濺射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410339809.7
• 申請日: 2014-07-16
• 公開（公告）號: CN104294223B
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梨木智剛;濱田明
• 申請（專利權(quán)）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種濺射裝置，其用于在沿著成膜輥的表面輸送的長條膜基材的表面上形成薄膜，其中，

該濺射裝置包括：

真空室；

上述成膜輥，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式配置于上述真空室內(nèi)；

靶材，其為1個或多個，配置于上述真空室內(nèi)，用于在沿著上述成膜輥的表面輸送的長條膜基材的表面上形成成膜材料；

氣體供給機構(gòu)，其用于向上述成膜輥與上述靶材之間的成膜空間供給氣體；

下游側(cè)輸送輥，其為多根，配置于上述真空室內(nèi)的、相對于上述成膜輥而言的長條膜基材的輸送方向下游側(cè)，用于將沿著上述成膜輥的表面輸送過來的長條膜基材向該輸送方向下游側(cè)輸送；以及

溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)，其用于將多根上述下游側(cè)輸送輥中的至少1根下游側(cè)輸送輥的溫度維持在80℃以下且在比上述真空室內(nèi)的最低溫度高的范圍內(nèi)維持大致恒定，

從而，使脫離上述成膜輥后的上述長條膜基材多階段性地冷卻，

上述溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)與各下游側(cè)輸送輥分別對應(yīng)地設(shè)置，

與各下游側(cè)輸送輥相對應(yīng)的溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)用于將多根上述下游側(cè)輸送輥的溫度維持在各自不同的大致恒定的溫度，

與各下游側(cè)輸送輥相對應(yīng)的溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)將多根上述下游側(cè)輸送輥的溫度維持為越靠上述輸送方向下游側(cè)上述下游側(cè)輸送輥被維持在越低的恒定的溫度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射裝置，其中，

利用上述溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)將溫度維持在大致恒定的上述下游側(cè)輸送輥具有中空部，該溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)是向該中空部內(nèi)輸送大致恒定溫度的流體的機構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射裝置，其中，

上述溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)具有用于向上述下游側(cè)輸送輥的上述中空部內(nèi)導(dǎo)入流體的旋轉(zhuǎn)接頭或轉(zhuǎn)節(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射裝置，其中，

利用上述溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)將溫度維持在大致恒定的上述下游側(cè)輸送輥是利用驅(qū)動部件驅(qū)動進行旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動輥。