[發(fā)明專利]陣列基板的制作方法及設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410338911.5
• 申請日: 2014-07-16
• 公開（公告）號: CN104134631B
• 公開（公告）日: 2016-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黎午升
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L21/67;G02F1/1333
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種陣列基板的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

對基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對位位置進行疏油處理；

在經(jīng)過疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，所述對基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對位位置進行疏油處理包括：

在所述基板的所述邊緣位置以及所述對位位置上涂覆疏油藥液。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，所述疏油藥液包括全氟辛酸鹽分散液。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，所述在所述基板的所述邊緣位置以及所述對位位置上涂覆疏油藥液包括：

使所述基板沿輥輪傳輸，所述輥輪與所述基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置接觸，所述輥輪的表面涂覆有疏油藥液，當(dāng)所述輥輪通過轉(zhuǎn)動帶動所述基板運動時，將自身表面涂覆的疏油藥液涂覆在所述邊緣位置上；

所述基板將要涂覆不透光感光材料的表面上方設(shè)置有吸收有疏油藥液的清洗頭，所述輥輪通過轉(zhuǎn)動帶動所述基板運動，在所述基板運動到所述清洗頭位于所述對位位置正上方時停止，控制所述清洗頭與所述對位位置相接觸，以便所述清洗頭將疏油藥液涂覆在所述對位位置上，之后控制所述清洗頭與所述對位位置脫離接觸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，所述在經(jīng)過疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料包括：

在經(jīng)過疏油處理的基板表面涂覆不透光的親油性光刻膠。

6.一種陣列基板的制作設(shè)備，其特征在于，所述制作設(shè)備包括：

疏油處理裝置，用于對基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對位位置進行疏油處理；

涂覆裝置，用于在經(jīng)過疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列基板的制作設(shè)備，其特征在于，所述疏油處理裝置用于在所述基板的所述邊緣位置以及所述對位位置上涂覆疏油藥液。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的陣列基板的制作設(shè)備，其特征在于，所述疏油處理裝置包括總藥液導(dǎo)管、藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件、輥輪、設(shè)置在所述輥輪上方的橫梁、固定在所述橫梁兩端的自動伸縮桿和位于所述自動伸縮桿頂端的清洗頭，其中，

所述總藥液導(dǎo)管，用于導(dǎo)入疏油藥液；

所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件的輸入端與所述總藥液導(dǎo)管的輸出端口緊密連接，一輸出端與所述輥輪的圓柱側(cè)面接觸，另一輸出端與所述清洗頭連接；

所述總藥液導(dǎo)管用于通過所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件將所述疏油藥液涂覆在所述輥輪的表面上以及所述清洗頭上；

所述輥輪與基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置接觸，用于在通過轉(zhuǎn)動帶動所述基板運動時，將自身表面涂覆的藥液涂覆在所述基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置；

在所述基板運動到所述清洗頭位于所述對位位置正上方時停止，所述自動伸縮桿用于控制所述清洗頭與所述對位位置相接觸，在所述清洗頭將疏油藥液涂覆在所述對位位置上之后，控制所述清洗頭與所述對位位置脫離接觸。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板的制作設(shè)備，其特征在于，所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件包括藥液傳遞部件和與所述藥液傳遞部件連接的藥液導(dǎo)管，所述藥液導(dǎo)管與所述總藥液導(dǎo)管的輸出端口緊密連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的陣列基板的制作設(shè)備，其特征在于，所述藥液傳遞部件為海綿或棉球。