[發明專利]鋯鈦酸鋇鈣無鉛壓電薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 201410337855.3
• 申請日: 2014-07-15
• 公開（公告）號: CN104098331A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 王增梅;王歡歡;蔡中蘭;趙寬
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: C04B35/49
• 分類號: C04B35/49;C04B35/624
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種鋯鈦酸鋇鈣無鉛壓電薄膜的制備方法，其特征在于，采用溶膠凝膠法制備，包括如下步驟：

步驟1、以化學通式Ba(Ti_0.8Zr_0.2)O₃-0.5(Ba_0.7Ca_0.3)TiO₃為依據，按摩爾比18:3-16:3的比例稱取乙酸鋇、一水乙酸鈣，溶于冰醋酸和去離子水中攪拌均勻，配制鋇鈣前驅體液；按摩爾比10:1-8:1比例稱取鈦酸四丁酯、硝酸氧鋯，溶于冰醋酸和乙二醇甲醚中攪拌均勻，配制鋯鈦前驅體液；

步驟2、將步驟1所述的鋇鈣前驅體液和鋯鈦前驅體液按照鈣鋯摩爾比2:1-1:1的比例混合攪拌均勻，水浴恒溫加熱，制得BZT-0.5BCT溶膠；

步驟3、將步驟2所述BZT-0.5BCT溶膠旋涂到Pt/Ti/SiO₂三層結構基底上，以升溫速率2.5℃/min進行中間熱處理并隨爐降溫，在中間熱處理得到的膜上繼續旋涂BZT-0.5BCT溶膠，重復至最后一層旋涂；

步驟4、將步驟3所述旋涂至最后一層的濕膜進行最終熱處理，得到鋯鈦酸鋇鈣無鉛壓電薄膜。

2.根據權利要求1所述鋯鈦酸鋇鈣無鉛壓電薄膜的制備方法，其特征在于，步驟3中所述中間熱處理溫度為500℃。

3.根據權利要求1所述鋯鈦酸鋇鈣無鉛壓電薄膜的制備方法，其特征在于，步驟3中所述旋涂層數為4～6層。

4.根據權利要求1所述鋯鈦酸鋇鈣無鉛壓電薄膜的制備方法，其特征在于，步驟4中所述最終熱處理為以2.5℃/min的速度升溫至500℃，最后以10-12℃/min的速度升溫至700～800℃，保溫120min。