[發(fā)明專利]層疊體的制造方法和層疊體

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410327938.4
• 申請日: 2011-04-28
• 公開（公告）號: CN104085168A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 江畑研一
• 申請（專利權(quán)）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B32B37/00
• 分類號: B32B37/00;B32B17/10;B32B27/28;B32B7/06
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

本申請是申請日為2011年4月28日、申請?zhí)枮?01180023392.8、發(fā)明名稱為“層疊體的制造方法和層疊體”的申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及層疊體的制造方法和層疊體。

背景技術(shù)

近年來，正在進行太陽能電池(PV)、液晶面板(LCD)、有機EL面板(OLED)等裝置(電子設(shè)備)的薄型化、輕量化，正在進行用于這些裝置的基板的薄板化。另一方面，因薄板化而導致基板的強度不足時，在裝置的制造工序中，基板的處理性會降低。

因此，一直以來，廣泛采用以下方法：在比最終厚度厚的基板上形成裝置用構(gòu)件(例如，薄膜晶體管)后，利用化學蝕刻處理將基板薄板化。然而，在該方法中，例如，將1片基板的厚度由0.7mm薄板化至0.2mm或0.1mm時，原有基板的材料的大半被蝕刻液削去，因此從生產(chǎn)率、原材料的使用效率的觀點出發(fā)，是不優(yōu)選的。

另外，在上述的基于化學蝕刻的基板的薄板化方法中，基板表面存在微細的傷痕時，有時會因蝕刻處理而以傷痕為起點形成微細的凹坑(etch?pit)，成為光學上的缺陷。

最近，為了應(yīng)對上述課題，提出了以下方法：準備層疊有基板和增強板的層疊體，在層疊體的基板上形成裝置用構(gòu)件后，從基板剝離增強板(例如，參照專利文獻1)。增強板具有玻璃板與固定在該玻璃板上的樹脂層，樹脂層與基板以可剝離的形式緊密貼合。增強板從基板剝離后，可與新的基板層疊，從而作為層疊體進行再利用。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第07/018028號

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

然而，對于上述現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的層疊體而言，將增強板從基板剝離時，有時增強板的樹脂層會內(nèi)聚失效，導致樹脂層的一部分附著在作為產(chǎn)品側(cè)的基板上。認為這是由于因裝置的制造工序中的加熱處理、化學藥液處理的條件，導致有時樹脂層劣化，有時樹脂層與基板的緊密貼合強度上升。

本發(fā)明是鑒于上述課題而進行的，其目的在于，提供能夠在剝離樹脂層與基板時抑制樹脂層內(nèi)聚失效的層疊體的制造方法和層疊體。

用于解決問題的方案

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的層疊體的制造方法為如下的層疊體的制造方法：

其為制造具有基板和支撐板和存在于它們之間的樹脂層的層疊體的方法，具有如下工序：將前述樹脂層形成在前述支撐板上的工序、以及使前述樹脂層以可剝離的形式緊密貼合于前述基板的工序，

其中，包括在前述緊密貼合的工序之前對要緊密貼合的前述基板表面和前述樹脂層表面的至少一方預先用硅油或硅烷偶聯(lián)劑進行處理的工序，或者，

在形成前述樹脂層的工序中，由包含硅油或硅烷偶聯(lián)劑的樹脂形成前述樹脂層，然后，在前述緊密貼合的工序中，使前述基板和前述樹脂層重疊并緊密貼合。

在本發(fā)明的層疊體的制造方法中，優(yōu)選的是，向要緊密貼合的前述基板表面和前述樹脂層表面的至少一方涂布硅油或硅烷偶聯(lián)劑的工序、以及

涂布硅油時對硅油進行低分子量化處理的工序、以及涂布硅烷偶聯(lián)劑時進行使硅烷偶聯(lián)劑反應(yīng)的處理的工序，

其后，在前述緊密貼合的工序中，使前述基板和前述樹脂層重疊并緊密貼合。另外，優(yōu)選的是，要緊密貼合的前述基板表面用硅油或硅烷偶聯(lián)劑實施了表面處理，施加了前述處理的基板表面的水接觸角為90°以上。

在本發(fā)明的層疊體的制造方法中，優(yōu)選的是，在將前述樹脂層形成在前述支撐板上的工序中，在前述支撐板表面形成固化性樹脂組合物層，接著使該固化性樹脂組合物固化而形成前述樹脂層。

另外，在本發(fā)明的層疊體的制造方法中，優(yōu)選的是，前述樹脂層是由硅樹脂形成的。

進而，在本發(fā)明的層疊體的制造方法中，優(yōu)選的是，前述樹脂層是由有機烯基聚硅氧烷與有機氫聚硅氧烷的反應(yīng)固化物形成的。

另外，本發(fā)明的層疊體為如下的層疊體：

其具有基板和支撐板和存在于它們之間的樹脂層，前述樹脂層與前述基板以可剝離的形式緊密貼合，前述樹脂層在前述支撐板上以它們之間的剝離強度大于前述樹脂層與前述基板之間的剝離強度的方式被固定，

緊密貼合的前述基板表面和前述樹脂層表面的至少一方是由預先用硅油或硅烷偶聯(lián)劑處理過的表面形成的，或者，前述樹脂層是由包含硅油或硅烷偶聯(lián)劑的樹脂形成的樹脂層。