[發明專利]垂直式平板式加熱器

在審

• 申請號: 201410326465.6
• 申請日: 2014-07-10
• 公開（公告）號: CN105304463A
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 曹承育
• 申請（專利權）人: 英屬開曼群島商精曜有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/324
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

技術領域

本發明提供了一種加熱器，尤其指一種不會發生結構變形的垂直式平板式加熱器。

背景技術

請參閱圖1，圖1為公知技術的一傳統加熱器10的示意圖。加熱器10包含有一加熱板12以及一支撐柱14。支撐柱14設置于加熱板12的兩端面的其中一端面的一中心位置，用來支撐加熱板12以固定其位置。支撐柱14用來推動加熱板12水平位移以靠近待加熱物18，因此傳統加熱器10為水平式加熱器。然而在水平式加熱器的兩個端面中，一個端面是平滑無任何組件，另一個端面則設置有支撐柱14，會造成兩端面的剛性不平均及拘束條件不對等的問題，使得在加熱器10的溫度升高時，加熱板12會因產生結構彎曲變形，加熱板12會與待加熱物18(例如基板、電極等)形成點接觸，而導致溫度不均勻的缺陷產生。

其中一種公知的解決方式是將一支架16設置在加熱板12的端面，支架16可由金屬材質或絕緣材質所組成。此種解決方式是利用支架16的剛性來限制加熱板12的形變量。然而此種強制導正方式會使得加熱板12在不同的溫度環境下(如高溫狀態或低溫狀態)，有著不同的形變趨勢。因此，如何設計出一種適用各種環境下，且不易發生結構變形的加熱器，即為相關產業的重點發展目標。

發明內容

本發明的目的是提供一種不會發生結構變形的垂直式平板式加熱器，以解決上述的問題。

為實現上述目的，本發明提供的垂直式平板式加熱器，包含有一加熱板、一第一支撐架、一第二支撐架、二夾持單元、至少一連結構件以及復數個壓塊。該加熱板是應用于一大尺寸基板。該二個夾持單元設置于該第二支撐架上，且分別夾持于該加熱板的一上端邊與一下端邊。該至少一連結構件連接該相對應夾持單元，且以可活動方式設置于該第一支撐架內。該復數個壓塊分別設置于該加熱板的復數個端角。該夾持單元是由該第一支撐架與該連結構件沿著一第一方向移動，使得該加熱板可經由各壓塊抵接在該基板，以調整該加熱板與該基板之間的平行度。

其中，該二夾持單元分別夾持該上端邊與該下端邊的中心位置。

其中，該連結構件與該夾持單元為一線性導向組合。

其中，該垂直式平板式加熱器另包含有一球型軸承，設置于該夾持單元與該連結構件之間。該夾持單元是由該球型軸承，以沿著相異該第一方向的一第二方向與一第三方向軸向旋轉。

其中，該球型軸承為一萬向球座。

其中，該第二方向相異于該第三方向。

其中，該垂直式平板式加熱器另包含有一外部驅動單元，其電連接于該連結構件。該外部驅動單元驅動該連結構件相對該第一支撐架移動。

其中，該垂直式平板式加熱器是應用于等離子體系統的加熱工藝。

本發明還提供一種垂直式平板式加熱器，包含有一加熱板、一第二支撐架、二夾持單元、一球型軸承以及復數個壓塊。該加熱板是應用于一大尺寸基板。該二個夾持單元設置于該第二支撐架上，且分別夾持于該加熱板的一上端邊與一下端邊。該球型軸承設置于該夾持單元與該加熱板之間。該復數個壓塊分別設置于該加熱板的復數個端角。該夾持單元是由該球型軸承產生軸向旋轉，使得該加熱板經由各壓塊活動地抵接在該基板，以調整該加熱板相對該基板的平行度。

本發明的垂直式平板式加熱器不破壞加熱板的表面結構，可確保加熱板的兩表面的剛性及拘束條件對等，故不會因加熱膨脹而產生過度彎曲變形的缺點。再者，本發明的垂直式平板式加熱器可自適地調整加熱板的旋轉角度，以達到加熱板表面與被加熱物表面的良好平行質量，同時亦達到良好的默認間距質量。

附圖說明

圖1為公知技術的傳統加熱器的示意圖。

圖2為本發明實施例的垂直式平板式加熱器的示意圖。

附圖中的符號說明：

10加熱器，12加熱板，14支撐柱，16支架，20垂直式平板式加熱器，22加熱板，221上端邊，223下端邊，24第二支撐架，26夾持單元，28壓塊，30第一支撐架，32連結構件，34球型軸承，36外部驅動單元，D1第一方向，D2第二方向，D3第三方向。

具體實施方式