[發明專利]垂直式平板式加熱器

在審

• 申請號: 201410326465.6
• 申請日: 2014-07-10
• 公開（公告）號: CN105304463A
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 曹承育
• 申請（專利權）人: 英屬開曼群島商精曜有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/324
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種垂直式平板式加熱器，包含有：

一加熱板，其應用于一大尺寸基板；

一第一支撐架；

一第二支撐架；

二夾持單元，設置于該第二支撐架上，且分別夾持于該加熱板的一上端邊與一下端邊；

至少一連結構件，連接該相對應夾持單元，且以可活動方式設置于該第一支撐架內；以及

復數個壓塊，分別設置于該加熱板的復數個端角，該夾持單元是由該第一支撐架與該連結構件沿著一第一方向移動，使得該加熱板經由各壓塊活動地抵接在該基板，以調整該加熱板相對該基板的平行度。

2.根據權利要求1所述的垂直式平板式加熱器，其中，該二夾持單元分別夾持該上端邊與該下端邊的中心位置。

3.根據權利要求1所述的垂直式平板式加熱器，其中，該連結構件與該夾持單元為一線性導向組合。

4.根據權利要求1所述的垂直式平板式加熱器，其中，包含有：

一球型軸承，設置于該夾持單元與該連結構件之間，該夾持單元是由該球型軸承，以沿著相異該第一方向的一第二方向與一第三方向軸向旋轉。

5.根據權利要求4所述的垂直式平板式加熱器，其中，該球型軸承為一萬向球座。

6.根據權利要求4所述的垂直式平板式加熱器，其中，該第二方向相異于該第三方向。

7.根據權利要求1所述的垂直式平板式加熱器，其中，包含有：

一外部驅動單元，電連接于該連結構件，該外部驅動單元驅動該連結構件相對該第一支撐架移動。

8.根據權利要求1所述的垂直式平板式加熱器，其中，該垂直式平板式加熱器是應用于等離子體系統的加熱工藝。

9.一種垂直式平板式加熱器，包含有：

一加熱板，其應用于一大尺寸基板；

一第二支撐架；

二夾持單元，設置于該第二支撐架上，且分別夾持于該加熱板的一上端邊與一下端邊；

一球型軸承，設置于該夾持單元與該加熱板之間；以及

復數個壓塊，分別設置于該加熱板的復數個端角，該夾持單元是由該球型軸承相對該加熱板產生軸向旋轉，使得該加熱板經由各壓塊活動地抵接在該基板，以調整該加熱板相對該基板的平行度。

10.根據權利要求9所述的垂直式平板式加熱器，其中，該二夾持單元分別夾持該上端邊與該下端邊的中心位置。

11.根據權利要求9所述的垂直式平板式加熱器，其中，包含有：

一第一支撐架；以及

至少一連結構件，連接該相對應夾持單元，且以可活動方式設置于該第一支撐架內，該夾持單元由該第一支撐架與該連結構件，以沿著一第一方向移動。

12.根據權利要求11所述的垂直式平板式加熱器，其中，該連結構件與該夾持單元為一線性導向組合。

13.根據權利要求11所述的垂直式平板式加熱器，其中，該夾持單元是由該球型軸承沿著相異該第一方向的一第二方向與一第三方向軸向旋轉。

14.根據權利要求13所述的垂直式平板式加熱器，其中，該第二方向相異于該第三方向。

15.根據權利要求9所述的垂直式平板式加熱器，其中，該球型軸承為一萬向球座。

16.根據權利要求9所述的垂直式平板式加熱器，其中，包含有：

一外部驅動單元，電連接于該連結構件，該外部驅動單元驅動該連結構件相對該第一支撐架移動。

17.根據權利要求9所述的垂直式平板式加熱器，其中，該垂直式平板式加熱器是應用于等離子體系統的加熱工藝。