[發(fā)明專利]電子裝置及制造方法、物理量傳感器、電子設(shè)備及移動體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410326076.3
• 申請日: 2014-07-09
• 公開（公告）號: CN104280051B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中悟
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01D3/036
• 分類號: G01D3/036;G01P15/125
• 代理公司: 北京金信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

本發(fā)明提供一種因所使用的環(huán)境的溫度變化所造成的檢測特性的變動被抑制的、檢測特性更為穩(wěn)定的電子裝置及制造方法、物理量傳感器、電子設(shè)備及移動體。物理量傳感器(1)具備第一傳感器元件(99)和被配置在第一傳感器元件(99)的外周的至少一部分上的外緣部(90)，在俯視觀察外緣部(90)時，在外緣部(90)上設(shè)置有在第一方向上延伸的第一槽(92)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電子裝置、電子裝置的制造方法、物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體。

背景技術(shù)

一般情況下，已知一種作為具備機(jī)械式可動的結(jié)構(gòu)體的機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)體的物理量傳感器。作為物理量傳感器，例如，已知一種根據(jù)可動電極與固定電極之間的靜電電容來對物理量進(jìn)行檢測的電容型傳感器(例如，專利文獻(xiàn)1所述的半導(dǎo)體力學(xué)傳感器)，其中，所述可動電極根據(jù)物理量(加速度、角速度等)的作用進(jìn)行位移，所述固定電極與該可動電極相對置。該電容型傳感器例如由支承用的基板、被設(shè)置在該基板上的傳感器元件(固定電極、固定部(錨定部)、從固定部延伸出的支承部、通過支承部以脫離基板的方式而被支承的可動電極等)等形成。此外，傳感器元件為例如通過光刻法等對與基板(玻璃基板等)相貼合的半導(dǎo)體基板(硅基板等)進(jìn)行精密加工而獲得。

在這種電容型傳感器中，存在被形成于傳感器元件的結(jié)構(gòu)的寄生電容使傳感器的靈敏度降低的情況。對此，在專利文獻(xiàn)2所述的半導(dǎo)體力學(xué)傳感器中，提出了一種如下技術(shù)，即，具備對被配置在傳感器元件的外周的外周部的電位進(jìn)行固定的單元(屏蔽電極)，從而防止傳感器靈敏度的降低的技術(shù)。

然而，在如上述的專利文獻(xiàn)2所述的半導(dǎo)體力學(xué)傳感器這種在傳感器元件的外周具備外周部的物理量傳感器中，存在根據(jù)所使用的溫度環(huán)境，作為傳感器的檢測特性發(fā)生變動的問題。具體而言，存在如下問題，即，從外周部向傳感器元件的可動部(可動電極)傳遞的干擾等的泄漏振動、泄漏力對傳感器元件的可動部(可動電極)的位移造成影響，從而導(dǎo)致檢測特性發(fā)生變動的問題。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平9－211022號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2007－279056號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為用于解決上述的課題的至少一部分而被完成的，且能夠作為以下的應(yīng)用例或方式來實(shí)現(xiàn)。

應(yīng)用例1

本應(yīng)用例所涉及的電子裝置的特征在于，具備：第一功能元件；外緣部，其配置在所述第一功能元件的外周的至少一部分上，在俯視觀察所述外緣部時，在所述外緣部上設(shè)置有在第一方向上延伸的第一槽。

根據(jù)本應(yīng)用例，電子裝置具備第一功能元件和被配置在第一功能元件的外周(俯視觀察電子裝置時的外周)的外緣部。而且，在外緣部上具有在第一方向上延伸的第一槽。在這種結(jié)構(gòu)中，外緣部例如通過在外緣部上設(shè)置有第一槽，從而從外緣部向第一功能元件被傳遞的干擾等的泄漏振動、泄漏力通過第一槽而使其傳遞被緩和。因此，能夠提供一種由從外部向第一功能元件被傳遞的干擾等的泄漏振動或泄漏力所造成的電特性的變動被減少的、電特性更為穩(wěn)定的電子裝置。

應(yīng)用例2

在上述應(yīng)用例所涉及的電子裝置中，優(yōu)選為，在俯視觀察所述外緣部時，在所述外緣部上設(shè)置有在與所述第一方向交叉的第二方向上延伸的第二槽。

根據(jù)本應(yīng)用例，電子裝置在第一功能元件的外緣部上除了具有在第一方向上延伸的第一槽以外，還具有在與第一方向交叉的第二方向上延伸的第二槽。從外緣部向第一功能元件被傳遞的干擾等的泄漏振動、泄漏力至少被分解為，在第一方向或與第一方向交叉的第二方向中的任意一個方向上的矢量成分。如本應(yīng)用例所示，通過設(shè)置有第一槽和第二槽，從而相對于槽而在與槽的延伸方向交叉的方向上作用的應(yīng)力通過槽而使其傳遞被緩和。因此，能夠提供一種由從外部向第一功能元件被傳遞的干擾等的泄漏振動或泄漏力所造成的電特性的變動被減少的、電特性更為穩(wěn)定的電子裝置。

應(yīng)用例3