[發(fā)明專利]電子裝置及制造方法、物理量傳感器、電子設(shè)備及移動(dòng)體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410326076.3
• 申請(qǐng)日: 2014-07-09
• 公開（公告）號(hào): CN104280051B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中悟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01D3/036
• 分類號(hào): G01D3/036;G01P15/125
• 代理公司: 北京金信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種電子裝置，其特征在于，具備：

第一功能元件；

外緣部，其被配置在所述第一功能元件的外周的至少一部分上，

在俯視觀察所述外緣部時(shí)，在所述外緣部上以大致等間隔的方式設(shè)置有多個(gè)在第一方向上延伸的第一槽，

所述外緣部被設(shè)為固定電位，

所述第一功能元件和所述外緣部為同一材料。

2.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其特征在于，

在俯視觀察所述外緣部時(shí)，在所述外緣部上設(shè)置有在與所述第一方向交叉的第二方向上延伸的第二槽。

3.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其特征在于，

所述第一功能元件具備：

固定部；

支承部，其從所述固定部延伸出；

可動(dòng)部，其通過所述支承部而以能夠位移的方式被支承。

4.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其特征在于，

具備第二功能元件，

所述第一槽被設(shè)置在所述第一功能元件與所述第二功能元件之間。

5.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其特征在于，

具備基板，

所述第一功能元件被設(shè)置在所述基板的主面上，

在俯視觀察所述基板時(shí)，在所述外緣部以及所述基板的與所述外緣部重疊的區(qū)域中的至少一方上設(shè)置有所述第一槽。

6.如權(quán)利要求2所述的電子裝置，其特征在于，

具備基板，

所述第一功能元件被設(shè)置在所述基板的主面上，

在俯視觀察所述基板時(shí)，在所述外緣部以及所述基板的與所述外緣部重疊的區(qū)域中的至少一方上設(shè)置有所述第一槽。

7.如權(quán)利要求6所述的電子裝置，其特征在于，

在俯視觀察所述基板時(shí)，在所述外緣部以及所述基板的與所述外緣部重疊的區(qū)域中的至少一方上設(shè)置有所述第二槽。

8.如權(quán)利要求6所述的電子裝置，其特征在于，

所述固定部被固定在所述基板的主面上，

所述可動(dòng)部通過所述支承部而以脫離所述基板并能夠位移的方式被支承。

9.如權(quán)利要求6所述的電子裝置，其特征在于，

在所述基板的主面上具備所述第二功能元件，

所述第一槽以及所述第二槽中的至少一方被設(shè)置在所述第一功能元件與所述第二功能元件之間。

10.如權(quán)利要求3所述的電子裝置，其特征在于，

所述第一方向?yàn)?，俯視觀察所述第一功能元件時(shí)的所述可動(dòng)部的位移方向。

11.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其特征在于，

在俯視觀察所述第一功能元件時(shí)，通過所述第一槽以及所述第二槽而構(gòu)成的圖形以成為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的方式被配置。

12.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其特征在于，

所述第一槽在所述第一功能元件的厚度方向上貫穿所述外緣部或所述基板。

13.如權(quán)利要求1所述的電子裝置，其特征在于，

所述外緣部為固定電位。

14.一種電子裝置的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上形成凹陷部的工序；

以使功能元件基板與所述凹陷部對(duì)置的方式將該功能元件基板接合在所述基板上的工序；

對(duì)所述功能元件基板進(jìn)行圖案形成加工，從而形成功能元件、外緣部、在所述外緣部上于第一方向上延伸的第一槽以及在與所述第一方向交叉的第二方向上延伸的第二槽的工序，

將所述外緣部設(shè)為固定電位的工序。