[發明專利]一種離子束垂直聚焦裝置

有效

• 申請號: 201410324394.6
• 申請日: 2014-07-09
• 公開（公告）號: CN104037044A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 張進學
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/21
• 分類號: H01J37/21
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強;李發軍

1.?一種離子束垂直聚焦裝置，包括具有透鏡腔體的殼體（1），以及裝在殼體（1）上的蓋板（2）；所述蓋板（2）上裝有冷卻液接頭（5）和電器接頭（4）；其特征是，所述殼體（1）的透鏡腔體內裝有至少一對用于產生對稱磁場對離子束進行垂直聚焦的磁鐵（10），每對磁鐵之間形成用于通過離子束的扇形的束流通道（11），該束流通道（11）左右兩側壁與相應側的磁鐵（10）產生的磁力線垂直；所述磁鐵（10）豎向布置，所述束流通道（11）橫向布置；所述束流通道（11）與磁鐵之間設有防止金屬污染透鏡腔體的石墨防護板（9）。

2.?根據權利要求1所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述包括磁芯（100），繞裝在磁芯（100）上的線包（103），以及裝在磁芯（100）側面上的第一磁片（101）和第二磁片（102）；所述線包（103）與所述電器接頭（4）電連接。

3.?根據權利要求2所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述磁芯（100）側面開有磁極槽，所述第一磁片（101）和第二磁片（102）固定安裝在所述磁極槽內。

4.?根據權利要求1所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述石墨防護板（9）包括用于固定在殼體（1）上的固定擋板（90），以及與所述固定擋板（90）固定相連的上下襯板（92）和左右襯板（91）；所述上下襯板（92）和左右襯板（91）包繞所述束流通道（11）形成扇形通道。

5.?根據權利要求1所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述磁芯（100）內開有與所述冷卻液接頭（5）連通的冷卻液通道。

6.?根據權利要求1所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述蓋板（2）上裝有手柄（3）；在殼體（1）的端部裝有便于安裝離子束垂直聚焦裝置的導向滑座（7）。

7.?根據權利要求6所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述導向滑座（7）內裝有直線軸承。

8.?根據權利要求1所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述磁鐵（1）通過定外銷（12）固定在殼體（1）內壁上。

9.?根據權利要求1所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述束流通道（11）左右兩側壁之間的夾角為14°~18°，且束流通道（11）的出口寬度為?67~72mm,該束流通道（11）的進口寬度為23~33mm。

10.?根據權利要求1所述的離子束垂直聚焦裝置，其特征在于，所述殼體（1）的透鏡腔體內裝有兩個用于產生對稱磁場對離子束進行垂直聚焦的磁鐵（10）。