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[發明專利]形成方法和基板有效

專利信息
申請號: 201410323975.8 申請日: 2014-07-09
公開(公告)號: CN104281010B 公開(公告)日: 2017-04-12
發明(設計)人: 辻田好一郎 申請(專利權)人: 佳能株式會社
主分類號: G03F7/20 分類號: G03F7/20;H01L21/02;H01L23/544
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038 代理人: 康建忠
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 形成 方法
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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