[發明專利]形成方法和基板有效
| 申請號： | 201410323975.8 | 申請日： | 2014-07-09 |
| 公開（公告）號： | CN104281010B | 公開（公告）日： | 2017-04-12 |
| 發明（設計）人： | 辻田好一郎 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/02;H01L23/544 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
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