[發(fā)明專(zhuān)利]形變測(cè)量成像系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410320981.8
• 申請(qǐng)日: 2008-02-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104061873B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: D·伯格;J·高里爾;D·S·古德曼;C·R·尤斯坦尼克
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/16
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/16;G02B27/28
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 錢(qián)慰民

本申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枮?00880013130.1、國(guó)際申請(qǐng)日為2008年2月26日、發(fā)明名稱(chēng)為“形變測(cè)量成像系統(tǒng)”的發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

相關(guān)申請(qǐng)

本申請(qǐng)要求2007年2月26日提交的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)S/N 60/903,443的權(quán)益和優(yōu)先權(quán)，并基于該申請(qǐng)，而且該申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用結(jié)合于此。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及形變測(cè)量成像系統(tǒng)。

背景技術(shù)

液晶顯示器(LCD)是流行的當(dāng)代技術(shù)。LCD用于包括電視機(jī)和計(jì)算機(jī)的許多顯示設(shè)備。LCD玻璃制造是非常復(fù)雜的工藝。需要極其嚴(yán)格的控制來(lái)滿(mǎn)足制造可用于諸如液晶顯示器(LCD)之類(lèi)的電視或計(jì)算機(jī)應(yīng)用的玻璃所必需的公差要求。同樣，測(cè)量和檢驗(yàn)是LCD制造中關(guān)鍵的步驟，而且用來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量和檢驗(yàn)過(guò)程的技術(shù)是任何LCD制造操作的關(guān)鍵組成部分。使用了一個(gè)關(guān)鍵的測(cè)量和檢驗(yàn)設(shè)備來(lái)測(cè)量LCD玻璃中的形變。在制造期間，形變會(huì)因?yàn)樵S多原因而出現(xiàn)。這些原因有熱或熱制造循環(huán)等。切割玻璃會(huì)引起應(yīng)力且使玻璃形變。

一種測(cè)量和檢驗(yàn)設(shè)備使用相對(duì)測(cè)量來(lái)測(cè)量LCD基板中的形變。常規(guī)的測(cè)量和檢驗(yàn)設(shè)備包括支承臺(tái)，其用來(lái)支承基板，并對(duì)基板向下抽真空以使基板不移動(dòng)。支承臺(tái)包括基準(zhǔn)標(biāo)記和用來(lái)在基板上施加標(biāo)志的裝置。然后對(duì)該基板執(zhí)行一工藝，再將該基板重新定位在支承臺(tái)上?？蓪?duì)該基板上的標(biāo)志與基準(zhǔn)標(biāo)記作比較以確定形變量。

一般而言，相對(duì)測(cè)量包括使用諸如上述支承板之類(lèi)的具有目標(biāo)網(wǎng)格圖案的基準(zhǔn)板。然后將樣本LCD玻璃基板放置在基準(zhǔn)板上。樣本基板具有類(lèi)似的目標(biāo)網(wǎng)格圖案?；鶞?zhǔn)板網(wǎng)格和樣本玻璃網(wǎng)格相對(duì)于彼此偏移?；鶞?zhǔn)板網(wǎng)格目標(biāo)和樣本玻璃網(wǎng)格目標(biāo)之間的矢量距離被稱(chēng)為測(cè)量節(jié)點(diǎn)。圖1示出基準(zhǔn)玻璃網(wǎng)格、樣本玻璃網(wǎng)格以及兩個(gè)網(wǎng)格之間的矢量距離的現(xiàn)有技術(shù)示例。如圖1所示，示出了基準(zhǔn)玻璃網(wǎng)格100。還將樣本玻璃網(wǎng)格示為110。還示出了基準(zhǔn)玻璃網(wǎng)格100與樣本玻璃網(wǎng)格110之間的矢量距離120(即測(cè)量節(jié)點(diǎn))。

常規(guī)的形變測(cè)量以?xún)呻A段來(lái)進(jìn)行。第一階段包括相對(duì)于支承臺(tái)上的網(wǎng)格圖案測(cè)量玻璃基板上的各個(gè)節(jié)點(diǎn)。如果需要亞微米準(zhǔn)確度，則使用諸如照相機(jī)之類(lèi)的光學(xué)設(shè)備來(lái)區(qū)分網(wǎng)格圖案并觀測(cè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的改變。在玻璃樣本上執(zhí)行諸如板切割或熱循環(huán)之類(lèi)的工藝之前進(jìn)行第一階段。一旦已經(jīng)進(jìn)行此工藝，就進(jìn)行第二階段。第二階段包括相對(duì)于支承臺(tái)上的網(wǎng)格圖案測(cè)量玻璃基板上的各個(gè)節(jié)點(diǎn)。然后通過(guò)測(cè)量第一階段與第二階段之間的測(cè)量節(jié)點(diǎn)中的任何改變可計(jì)算玻璃的形變。為測(cè)定玻璃形變，需要修正第一與第二階段之間的測(cè)量結(jié)果之差中的凈平移和旋轉(zhuǎn)。

圖2示出用于形變測(cè)量的組件的放大圖。示出了樣本基板200。在步驟一，將樣本基板200定位在基準(zhǔn)基板210上。在步驟二，在樣本基板200上劃線網(wǎng)格230?；鶞?zhǔn)基板210包括被示為220的真空端口。示出第一網(wǎng)格圖案230在樣本基板200上。示出第二網(wǎng)格圖案240在基準(zhǔn)基板210上。示出了諸如照相機(jī)之類(lèi)的觀測(cè)系統(tǒng)250。在步驟三，反轉(zhuǎn)樣本基板200，以使網(wǎng)格圖案(230、240)彼此正對(duì)，并使用觀測(cè)系統(tǒng)250測(cè)量第一網(wǎng)格圖案230相對(duì)于第二網(wǎng)格圖案240的位置。在步驟四，然后去除樣本基板200，執(zhí)行一工藝(例如切割、熱循環(huán))。在步驟五，重新定位樣本基板200，使網(wǎng)格圖案如步驟三中一樣彼此正對(duì)并重新測(cè)量。步驟三與步驟五之間的測(cè)量結(jié)果差(即測(cè)量節(jié)點(diǎn))即樣本基板的形變。

受測(cè)樣本基板上的目標(biāo)網(wǎng)格標(biāo)記在其上表面上。樣本基板厚度范圍為從0.4mm到1.1mm。同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)目標(biāo)網(wǎng)格以減小測(cè)量誤差。因此，常規(guī)方法反轉(zhuǎn)樣本基板，以使樣本基板的網(wǎng)格與基準(zhǔn)基板的網(wǎng)格在同一焦平面中。在反轉(zhuǎn)之后對(duì)齊大尺寸基板的目標(biāo)網(wǎng)格(即在整個(gè)薄板中的網(wǎng)格之間產(chǎn)生約+/-50μm的偏移)是極富挑戰(zhàn)性的，而且因此需要特殊的處理技術(shù)。