[發(fā)明專利]光檢測(cè)器及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410310714.2
• 申請(qǐng)日: 2014-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN104037185B
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳德銘;王騰岳;林宗毅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146;G01T1/20
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司72003
• 代理人: 張?jiān)≡?李玉鎖

1.一種光檢測(cè)器的制造方法，包括：

提供一基板；

于該基板上形成一感應(yīng)元件陣列，該感應(yīng)元件陣列包括多個(gè)感應(yīng)單元；

于該感應(yīng)元件陣列上形成多個(gè)閃爍體單元，其中所述多個(gè)閃爍體單元彼此之間互相分離，且每一閃爍體單元對(duì)應(yīng)一個(gè)感應(yīng)單元；

形成覆蓋所述多個(gè)閃爍體單元的一反射層，其中所述反射層覆蓋各個(gè)所述閃爍體單元的上表面與側(cè)表面；以及

形成覆蓋該反射層的一覆蓋層。

2.如權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)器的制造方法，其中形成所述多個(gè)閃爍體單元的方法包括：

配制一閃爍體材料；

使用該閃爍體材料進(jìn)行一涂布工藝，以于該基板上形成一閃爍體材料層；以及

對(duì)該閃爍體材料層依序進(jìn)行一曝光顯影工藝及一干燥工藝，以定義出所述多個(gè)閃爍體單元。

3.如權(quán)利要求2所述的光檢測(cè)器的制造方法，其中該閃爍體材料包括一熒光粉、一溶劑、一感光劑及一添加劑。

4.如權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)器的制造方法，其中形成所述多個(gè)閃爍體單元的方法包括：

于該基板上設(shè)置一印刷板，其中該印刷板包括多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)分別對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)感應(yīng)單元；

配制一閃爍體材料；

使用該閃爍體材料進(jìn)行一涂布工藝，以使該閃爍體材料填入所述多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)中；

移除該印刷版，以于該基板上形成多個(gè)閃爍體材料圖案；以及

對(duì)所述多個(gè)閃爍體材料圖案進(jìn)行一干燥工藝，以形成所述多個(gè)閃爍體單元。

5.如權(quán)利要求4所述的光檢測(cè)器的制造方法，其中該閃爍體材料包括一熒光粉、一溶劑及一添加劑。

6.如權(quán)利要求3或5所述的光檢測(cè)器的制造方法，其中該熒光粉包括Gd₂O₂S:Tb、ZnS:Cu、ZnS:Ag、CaWO₄、GdOS:Tb或BaFCl:Eu。

7.一種光檢測(cè)器，包括：

一基板，其具有一感應(yīng)元件陣列，該感應(yīng)元件陣列包括多個(gè)感應(yīng)單元；

多個(gè)閃爍體單元，配置于該感應(yīng)元件陣列上，其中所述多個(gè)閃爍體單元彼此之間互相分離，且每一閃爍體單元對(duì)應(yīng)一個(gè)感應(yīng)單元，所述多個(gè)閃爍體單元的頂表面為一非平坦表面；

一反射層，配置于所述多個(gè)閃爍體單元上且覆蓋所述多個(gè)閃爍體單元，其中所述反射層覆蓋各個(gè)所述閃爍體單元的上表面與側(cè)表面；以及

一覆蓋層，覆蓋該反射層。

8.如權(quán)利要求7所述的光檢測(cè)器，其中該基板為可撓性基板，該覆蓋層為可撓性覆蓋層。

9.如權(quán)利要求7所述的光檢測(cè)器，其中所述多個(gè)閃爍體單元包括Gd₂O₂S:Tb、ZnS:Cu、ZnS:Ag、CaWO₄、GdOS:Tb或BaFCl:Eu。

10.如權(quán)利要求7所述的光檢測(cè)器，其中所述多個(gè)閃爍體單元的厚度介于50微米至200微米之間，所述多個(gè)感應(yīng)單元的間距介于130微米至200微米之間。

11.如權(quán)利要求7所述的光檢測(cè)器，其中該每一閃爍體單元與其所對(duì)應(yīng)的該感應(yīng)單元直接接觸。