[發明專利]襯底分離檢查方法、襯底分離設備及柔性顯示器制造方法

有效

• 申請號: 201410306206.7
• 申請日: 2014-06-30
• 公開（公告）號: CN104424855B
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 孫貞洛;姜鎬龍;金楨晧;張碩元
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G09F9/30
• 分類號: G09F9/30;B32B38/10
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

本發明提供了襯底分離檢查方法、襯底分離設備以及柔性顯示器制造方法。根據本發明的另一方面提供的襯底分離設備包括襯底組件、激光照射單元、檢測單元、以及確定單元，其中襯底組件具有第一襯底以及附接至第一襯底的第二襯底，激光照射單元將激光照射至襯底組件，檢測單元獲得第一襯底和/或第二襯底的光學特性信息，確定單元基于通過檢測單元獲得的光學特性信息確定第一襯底與第二襯底的分離狀態是否正常。

技術領域

本發明涉及襯底分離方法、襯底分離設備及使用該襯底分離方法和該襯底分離設備制造柔性顯示器的方法，更具體地，涉及用于使第一襯底與第二襯底分離并檢查第一襯底與第二襯底的分離狀態的襯底分離檢查方法、用于使第一襯底與第二襯底分離的襯底分離設備以及使用該襯底分離檢查方法和該襯底分離設備制造柔性顯示器的方法。

背景技術

近年來，全球顯示器市場已經迅速向平板顯示器(FPD)轉變，平板顯示器易于制造為大型、輕薄的顯示器。

FPD包括液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示板(PDP)、和有機發光顯示器(OLED)。然而，由于大多數典型的LCD、PDP、或OLED使用玻璃襯底，所以它們不是柔性的，因此使用范圍或應用范圍受限。

與此同時，柔性顯示器已發展成為下一代顯示器。柔性顯示器使用由柔性材料(如塑料材料或箔)形成的柔性襯底，而不是使用玻璃襯底，因此可彎曲或扭曲。

柔性顯示器需要柔性襯底。然而，由于柔性襯底具有有限的耐熱性，所以應用用于使用在用于玻璃襯底的板制造中的柔性襯底并不容易。為了解決這種挑戰，已研究了多種方法以通過使用玻璃襯底作為基底然后移除玻璃襯底從而在板形成之后將柔性施加至板。

發明內容

本發明的多個方面提供了襯底分離檢查方法，在該方法中可獲得第一襯底和/或第二襯底的光學特性信息，并且可基于獲得的光學特性信息確定第一襯底與第二襯底的分離狀態。

本發明的多個方面還提供了襯底分離設備，其可實時地確定第一 襯底與第二襯底的分離狀態是否正常。

本發明的多個方面還提供了制造柔性顯示器的方法，其可通過在柔性顯示器的制造過程中實時識別襯底的分離狀態降低不良率并提高生產率。

然而，本發明的多個方面并不限于本文中所闡述的方面。通過參照下面給出的本發明的詳細描述，本發明的以上及其他方面將對本領域普通技術人員變得更加顯而易見。

根據本發明的一方面，提供了襯底分離檢查方法，其包括制備襯底組件、施加激光至襯底組件、獲得第一襯底和/或第二襯底的光學特性信息以及識別第一襯底與第二襯底的分離狀態。

根據本發明的另一方面，提供了襯底分離設備，其包括襯底組件、激光照射單元、檢測單元、以及確定單元，其中襯底組件具有第一襯底以及附接至第一襯底的第二襯底，激光照射單元向襯底組件施加激光，檢測單元獲得第一襯底和/或第二襯底的光學特性信息，確定單元基于通過檢測單元獲得的光學特性信息確定第一襯底與第二襯底的分離狀態是否正常。

根據本發明的另一方面，提供了制造柔性顯示器的方法，其包括結合第一襯底與第二襯底、在第二襯底上形成TFT陣列、在第二襯底的上表面上附接上保護膜、執行用于使第一襯底與第二襯底分離的主襯底分離操作、在第二襯底的下表面上附接下膜、以及執行用于使上保護膜與第二襯底的上表面分離的次襯底分離操作。

通過下面的詳細描述、附圖和權利要求書，其他特征和方面將變得顯而易見。

根據實施方式，通過獲得第一襯底和/或第二襯底的光學特性信息，幾乎可實時確定第一襯底和第二襯底是否已適當地彼此分離。

此外，通過實時識別第一襯底與第二襯底的分離狀態，可降低柔性顯示器的不良率。

附圖說明