[發明專利]襯底分離檢查方法、襯底分離設備及柔性顯示器制造方法

有效

• 申請號: 201410306206.7
• 申請日: 2014-06-30
• 公開（公告）號: CN104424855B
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 孫貞洛;姜鎬龍;金楨晧;張碩元
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G09F9/30
• 分類號: G09F9/30;B32B38/10
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

1.一種襯底分離檢查方法，包括：

制備襯底組件，所述襯底組件包括第一襯底以及附接至所述第一襯底的第二襯底；

施加用于使所述第一襯底與所述第二襯底分離的激光至所述襯底組件；

獲得所述第一襯底或所述第二襯底的光學特性信息；以及

基于所述光學特性信息，識別所述第一襯底與所述第二襯底的分離狀態，

其中，識別所述第一襯底與所述第二襯底的分離狀態的步驟包括：將所述光學特性信息與參考光學特性信息相比較，其中所述光學特性信息包括所述第一襯底或所述第二襯底的顏色信息。

2.如權利要求1所述的襯底分離檢查方法，其中，

獲得所述第一襯底或所述第二襯底的光學特性信息的步驟包括：施加光至所述第一襯底或所述第二襯底的一側以及接收從所述第一襯底或所述第二襯底的所述一側反射的所述光。

3.一種襯底分離設備，包括：

激光照射單元，配置成施加激光至襯底組件，所述襯底組件包括第一襯底以及附接至所述第一襯底的第二襯底；

檢測單元，配置成獲得所述第一襯底或所述第二襯底的光學特性信息；以及

確定單元，配置成基于所述光學特性信息，識別所述第一襯底與第二襯底的分離狀態，

其中，所述確定單元還配置成通過將所述光學特性信息與參考光學特性信息相比較，以識別所述第一襯底與所述第二襯底的分離狀態，其中所述光學特性信息包括所述第一襯底或所述第二襯底的表面的顏色信息。

4.如權利要求3所述的襯底分離設備，其中，

所述檢測單元包括光學傳感器，所述光學傳感器配置成從所述第一襯底或所述第二襯底的表面獲得所述光學特性信息，

并且所述光學傳感器配置成包括：

光發射器，用于向所述第一襯底或第二襯底的表面發射光；以及

光接收器，用于接收從所述第一襯底或所述第二襯底的表面反射的光，

其中所述光學傳感器還配置成獲得所述顏色信息。

5.如權利要求3所述的襯底分離設備，其中所述激光照射單元、所述檢測單元和所述確定單元中至少之一設置有多個。

6.一種襯底分離設備，包括：

第一轉移單元，配置成沿第一路徑轉移第一襯底組件，所述第一襯底組件包括第一襯底以及附接至所述第一襯底的第二襯底；

激光照射單元，配置成施加激光至位于所述第一路徑上的所述第一襯底組件；

第一檢測單元，配置成獲得在所述第一路徑上被激光照射的所述第一襯底組件的光學特性信息；以及

確定單元，配置成基于通過所述第一檢測單元獲得的所述光學特性信息，識別所述第一襯底與所述第二襯底的分離狀態，

其中，所述確定單元還配置成通過將所述光學特性信息與參考光學特性信息相比較，以識別所述第一襯底與所述第二襯底的分離狀態，其中所述光學特性信息包括所述第一襯底或所述第二襯底的表面的顏色信息。

7.如權利要求6所述的襯底分離設備，還包括：

第二轉移單元，配置成沿第二路徑轉移第二襯底組件，所述第二襯底組件包括另一第一襯底以及附接至相應的所述另一第一襯底的另一第二襯底；以及

第二檢測單元，配置成獲得在所述第二路徑上被激光照射的所述第二襯底組件的光學特性信息；

其中所述激光照射單元還配置成設置在所述第一路徑和所述第二路徑的重疊部分上，所述確定單元還配置成基于通過所述第一檢測單元或所述第二檢測單元獲得的所述光學特性信息，確定所述第一襯底組件或所述第二襯底組件是否已適當地分開，其中當所述第一襯底組件和所述第二襯底組件通過所述第一路徑和所述第二路徑的所述重疊部分時，所述第一襯底組件和所述第二襯底組件被一個接一個地轉移。