[發明專利]襯底處理裝置、半導體器件的制造方法及流量監視方法

有效

• 申請號: 201410302788.1
• 申請日: 2014-06-27
• 公開（公告）號: CN104253073B
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 川崎潤一;船倉滿
• 申請（專利權）人: 株式會社日立國際電氣
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 陳偉,李文嶼

1.一種襯底處理裝置，包括：

氣體供給部，設于配置襯底收容器的載置部和收納部中的至少一方，并用于供給規定氣體；

監視部，比較經由所述氣體供給部供給到所述襯底收容器的所述規定氣體的流量與預先設定的基準值，并輸出表示比較結果的信號；以及

管理部，根據從所述監視部輸出的所述信號來管理所述襯底收容器的輸送狀態，以將所述襯底收容器內的氧濃度保持為恒定，

所述監視部，在所述襯底收容器自搬入到裝置內時起直到搬出到裝置外的期間，與由襯底收容器輸送機構所致的襯底收容器的移動動作聯動而向所述襯底收容器供給所述規定氣體，同時監視所述規定氣體的流量是否為規定的基準值以上。

2.根據權利要求1所述的襯底處理裝置，其中，

所述監視部，若在所述規定氣體的流量小于所述基準值的狀態下超過了預先設定的監視時間，則向所述管理部輸出將被供給了所述規定氣體的所述襯底收容器指定為異常的信號，

所述管理部，當接受所述信號時，禁止被指定為所述異常的對象的襯底收容器向所述載置部和所述收納部中的至少一方進行送入和送出。

3.根據權利要求2所述的襯底處理裝置，其中，

所述監視部，當在向指定為所述異常的襯底收容器供給的所述規定氣體的流量超過所述基準值的狀態下經過了規定的一定時間時，向所述管理部輸出將所述異常的指定解除的信號，

所述管理部，當接受所述信號時，能夠向所述載置部和所述收納部中的至少一方進行解除了所述異常的指定的襯底收容器的送入和送出。

4.根據權利要求1所述的襯底處理裝置，其中，

所述監視部在所述規定氣體的流量低于基準值并向所述管理部輸出表示流量異常的警報信號后，在經過預先指定的監視時間之前所述氣體的流量超過所述基準值時，向所述管理部輸出表示所述異常已恢復的恢復信號。

5.根據權利要求1所述的襯底處理裝置，其中，

所述監視部至少包括：比較所述氣體的流量與預先設定的基準值的比較部、在所述流量小于所述基準值的情況下判定為異常的判定部、以及向所述管理部報告表示包含所述流量異常在內的異常的各種警報的報告部。

6.根據權利要求1所述的襯底處理裝置，其中，

所述管理部根據收納于所述襯底收容器的襯底的類別，在配置于所述載置部和收納架中的至少一方的狀態下，向所述監視部輸出向所述襯底收容器供給惰性氣體的指示。

7.一種流量監視方法，包括：

為將襯底收容器內的氧濃度保持為恒定，從設于載置部和收納部中的至少一方的氣體供給部向所述襯底收容器供給規定氣體的工序；和

管理所述襯底收容器的輸送狀態，以將所述襯底收容器內的氧濃度保持為恒定的工序，

管理所述襯底收容器的輸送狀態的所述工序還包括：

在所述襯底收容器自搬入到裝置內時起直到搬出到裝置外的期間，與由襯底收容器輸送機構所致的所述襯底收容器的移動動作聯動而向所述襯底收容器供給所述規定氣體，同時監視所述規定氣體的流量是否為規定的基準值以上的工序；

比較載置于所述載置部和所述收納部中的至少一方的狀態下供給到所述襯底收容器內的氣體流量與預先設定的基準值，在比較結果小于所述基準值的情況下輸出表示流量異常的信號的工序；

異常指定工序，在低于所述基準值的狀態下，當超過了規定的監視時間時，進行輸出將所述襯底收容器指定為異常的信號的處理；以及

在低于所述基準值的狀態下，當未超過規定的監視時間且所述氣體流量變得高于所述基準值時，輸出表示異?；謴偷男盘柕墓ば?。

8.根據權利要求7所述的流量監視方法，其中，

具有如下工序：所述異常指定工序后，在所述氣體流量高于所述基準值的狀態下超過了規定的監視時間時，輸出將被指定給所述襯底收容器的所述異常解除的信號即指定解除信號。