[發(fā)明專利]石墨舟的清洗工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410299396.4
• 申請日: 2014-06-19
• 公開（公告）號: CN104064503A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設計）人: 毛杰
• 申請（專利權）人: 奉化拓升商貿有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種石墨舟的清洗工藝，其特征是，包括以下步驟：

(1)分解石墨舟；

(2)在氫氟酸溶液中對分解好的石墨舟進行第一次清洗；

(3)在清水中進行第二次清洗；

(4)在烘干爐中進行烘干；

(5)組裝石墨舟；

(6)在管式PECVD內對石墨舟進行飽和處理。

2.根據權利要求1所述的石墨舟的清洗工藝，其特征是，在步驟(2)和步驟(3)中均進行了持續(xù)的鼓泡，鼓泡氣壓在0.12-0.2Mpa之間。

3.根據權利要求2所述的石墨舟的清洗工藝，其特征是，步驟(2)中氫氟酸的濃度為10％，且該步驟中的清洗時間為2-3h。

4.根據權利要求3所述的石墨舟的清洗工藝，其特征是，步驟(3)中的清洗時間為1-2h。

5.根據權利要求4所述的石墨舟的清洗工藝，其特征是，步驟(4)中的烘干時間為8h。

6.根據權利要求4所述的石墨舟的清洗工藝，其特征是，步驟(6)為在400℃真空條件下進行2次射頻輝光，第一次輝光時間為2500s，間隔500s后進行第二次輝光，輝光時間為1800s。

7.根據權利要求6所述的石墨舟的清洗工藝，其特征是，步驟(6)中射頻輝光的頻射功率設為5000W，且使用了流量比為1∶9的氨氣和硫化氫。