[發明專利]一種單晶硅切削液在審
| 申請號： | 201410292247.5 | 申請日： | 2014-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN104046497A | 公開（公告）日： | 2014-09-17 |
| 發明（設計）人： | 薛靜 | 申請（專利權）人： | 青島扎西生物科技有限公司 |
| 主分類號： | C10M173/02 | 分類號： | C10M173/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266000 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單晶硅 切削 | ||
【權利要求書】：
1.一種單晶硅切削液，其特征在于：其由以下重量份數的原料制成：
?????二乙二醇25-40份，PEG5-13份，三乙醇胺10-17份，癸二酸2.5-8份，三乙胺2.5-4份，氯化鈉3.5-9份，木質素磺酸鹽3-5份，水50份。
2.根據權利要求1所述的單晶硅切削液，其特征在于：其由以下重量份數的原料制成：
???二乙二醇32份，PEG7份，三乙醇胺13份，癸二酸5.5份，三乙胺3.2份，氯化鈉6份，木質素磺酸鹽4份，水50份。
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