[發明專利]一種化學機械研磨組合物在審

申請號：	201410291899.7	申請日：	2014-06-26
公開（公告）號：	CN104046322A	公開（公告）日：	2014-09-17
發明（設計）人：	范向奎	申請（專利權）人：	青島寶泰新能源科技有限公司
主分類號：	C09K3/14	分類號：	C09K3/14;C09G1/02
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	266000 山東***	國省代碼：	山東;37
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種化學機械研磨組合
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【權利要求書】：

1.一種化學機械研磨組合物，其特征在于，包括下列重量份數的物質：水楊酸鈉35-40份，醋酸鈉2-7份，含氫硅油3-8份，甲基硅油9-15份，調節劑1-3份，水性介質50-55份，納米石墨粉1-2份，高嶺土1-3份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺鹽2-3份，蒙脫土1-3份，過氧化苯甲酰1-2份，乙酸正丁酯2-3份，氯化鈣2-5份。

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