[發(fā)明專利]一種半導體研磨劑在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410291896.3 | 申請日: | 2014-06-26 |
| 公開(公告)號: | CN104046321A | 公開(公告)日: | 2014-09-17 |
| 發(fā)明(設計)人: | 范向奎 | 申請(專利權(quán))人: | 青島寶泰新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | C09K3/14 | 分類號: | C09K3/14 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 266000 山東*** | 國省代碼: | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 研磨劑 | ||
1.一種半導體研磨劑,其特征在于,包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):磷酸二氫鉀1-7份,硫酸鉀9-17份,聚乙烯醇11-14份,二氧化硅1-2,酸洗劑3-9份,三乙胺4-13份,酒石酸5-9份,苯甲酸甲酯6-7份,硫酸鋅1-3份,硫酸鎂2-4份,研磨粒子3-8份,雙酚A型聚碳酸酯11-18份,硬脂酸鈣3-8份,分散劑1份。
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