[發明專利]測試真空度的方法和裝置

有效

• 申請號: 201410290189.2
• 申請日: 2014-06-24
• 公開（公告）號: CN105222949B
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 王偉;劉煉;郭亮良
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01L21/00
• 分類號: G01L21/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 江舟,吳貴明

1.一種測試真空度的方法，其特征在于，包括：

向待測器件輸入射頻掃描信號；

接收所述待測器件在所述射頻掃描信號的頻率與所述待測器件的固有頻率一致時發生諧振所產生的輸出信號；

根據所述輸出信號測試所述待測器件所處環境的真空度。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述接收所述待測器件在所述射頻掃描信號的頻率與所述待測器件的固有頻率一致時發生諧振所產生的輸出信號包括：

接收所述輸出信號經過信號放大器后輸出的測試信號。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述輸出信號測試所述待測器件所處環境的真空度包括：

根據所述輸出信號計算Q值，其中，所述Q值用于表示電感器在預設頻率的交流電壓下工作時，所呈現的感抗與其等效損耗電阻之比；

根據計算出的Q值測試所述待測器件所處環境的真空度。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述根據計算出的Q值測試所述待測器件所處環境的真空度包括：

若所述Q值在預定范圍之內，則判斷出所述待測器件所處環境的真空度滿足與所述預定范圍對應的預定要求。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的方法，其特征在于，所述向待測器件輸入射頻掃描信號包括：

通過網絡分析儀向所述待測器件輸入射頻掃描信號。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的方法，其特征在于，所述待測器件包括：MEMS器件。

7.一種測試真空度的裝置，其特征在于，包括：

傳輸單元，用于向待測器件輸入射頻掃描信號；

接收單元，用于接收所述待測器件在所述射頻掃描信號的頻率與所述待測器件的固有頻率一致時發生諧振所產生的輸出信號；

測試單元，用于根據所述輸出信號測試所述待測器件所處環境的真空度。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述接收單元包括：

接收模塊，用于接收所述輸出信號經過信號放大器后輸出的測試信號。

9.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述測試單元包括：

測試模塊，用于根據所述輸出信號計算Q值；根據計算出的Q值測試所述待測器件所處環境的真空度，其中，所述Q值用于表示電感器在預設頻率的交流電壓下工作時，所呈現的感抗與其等效損耗電阻之比。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述測試模塊用于若所述Q值在預定范圍之內，則判斷出所述待測器件所處環境的真空度滿足與所述預定范圍對應的預定要求。