[發(fā)明專利]測(cè)試真空度的方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410290189.2
• 申請(qǐng)日: 2014-06-24
• 公開（公告）號(hào): CN105222949B
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王偉;劉煉;郭亮良
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G01L21/00
• 分類號(hào): G01L21/00
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11240
• 代理人: 江舟,吳貴明

1.一種測(cè)試真空度的方法，其特征在于，包括：

向待測(cè)器件輸入射頻掃描信號(hào)；

接收所述待測(cè)器件在所述射頻掃描信號(hào)的頻率與所述待測(cè)器件的固有頻率一致時(shí)發(fā)生諧振所產(chǎn)生的輸出信號(hào)；

根據(jù)所述輸出信號(hào)測(cè)試所述待測(cè)器件所處環(huán)境的真空度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述接收所述待測(cè)器件在所述射頻掃描信號(hào)的頻率與所述待測(cè)器件的固有頻率一致時(shí)發(fā)生諧振所產(chǎn)生的輸出信號(hào)包括：

接收所述輸出信號(hào)經(jīng)過信號(hào)放大器后輸出的測(cè)試信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述輸出信號(hào)測(cè)試所述待測(cè)器件所處環(huán)境的真空度包括：

根據(jù)所述輸出信號(hào)計(jì)算Q值，其中，所述Q值用于表示電感器在預(yù)設(shè)頻率的交流電壓下工作時(shí)，所呈現(xiàn)的感抗與其等效損耗電阻之比；

根據(jù)計(jì)算出的Q值測(cè)試所述待測(cè)器件所處環(huán)境的真空度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)計(jì)算出的Q值測(cè)試所述待測(cè)器件所處環(huán)境的真空度包括：

若所述Q值在預(yù)定范圍之內(nèi)，則判斷出所述待測(cè)器件所處環(huán)境的真空度滿足與所述預(yù)定范圍對(duì)應(yīng)的預(yù)定要求。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述向待測(cè)器件輸入射頻掃描信號(hào)包括：

通過網(wǎng)絡(luò)分析儀向所述待測(cè)器件輸入射頻掃描信號(hào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述待測(cè)器件包括：MEMS器件。

7.一種測(cè)試真空度的裝置，其特征在于，包括：

傳輸單元，用于向待測(cè)器件輸入射頻掃描信號(hào)；

接收單元，用于接收所述待測(cè)器件在所述射頻掃描信號(hào)的頻率與所述待測(cè)器件的固有頻率一致時(shí)發(fā)生諧振所產(chǎn)生的輸出信號(hào)；

測(cè)試單元，用于根據(jù)所述輸出信號(hào)測(cè)試所述待測(cè)器件所處環(huán)境的真空度。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述接收單元包括：

接收模塊，用于接收所述輸出信號(hào)經(jīng)過信號(hào)放大器后輸出的測(cè)試信號(hào)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述測(cè)試單元包括：

測(cè)試模塊，用于根據(jù)所述輸出信號(hào)計(jì)算Q值；根據(jù)計(jì)算出的Q值測(cè)試所述待測(cè)器件所處環(huán)境的真空度，其中，所述Q值用于表示電感器在預(yù)設(shè)頻率的交流電壓下工作時(shí)，所呈現(xiàn)的感抗與其等效損耗電阻之比。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述測(cè)試模塊用于若所述Q值在預(yù)定范圍之內(nèi)，則判斷出所述待測(cè)器件所處環(huán)境的真空度滿足與所述預(yù)定范圍對(duì)應(yīng)的預(yù)定要求。