[發明專利]一種原位多功能光電器件探針測試裝置

有效

• 申請號: 201410286899.8
• 申請日: 2014-06-25
• 公開（公告）號: CN104090222A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 陳潤鋒;宋超;林誠;黃維
• 申請（專利權）人: 南京郵電大學
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/073;H02S50/10
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 楊楠

1.?一種原位多功能光電器件探針測試裝置，其特征在于：包括密封測試腔體（1）、樣品臺（2）、探針陣列裝置（3）、接線槽（4）、信號采集/發射裝置（5）、光電測試儀器（6）、第三電控旋轉升降裝置（14）和第三控制器（15）；其中，密封測試腔體（1）上設有密封門（7），樣品臺（2）與第三電控旋轉升降裝置（14）相連設置在密封測試腔體（1）內，第三控制器（15）位于密封測試腔體（1）的外部，第三控制器（15）通過導線與第三電控旋轉升降裝置（14）相連接；探針陣列裝置（3）包括探針本體（8）、第一電控升降裝置（9）和第一控制器（10），其中，探針本體（8）與第一電控升降裝置（9）相連接，位于密封測試腔體（1）內樣品臺（2）的下面，第一控制器（10）和接線槽（4）位于密封測試腔體（1）的外部，第一電控升降裝置（9）通過導線與第一控制器（10）相連接，探針本體（8）包括至少兩根探針，接線槽（4）內包括數量與探針數量相一致的接線柱，各個探針分別通過導線與各個接線柱相連接；信號采集/發射裝置（5）包括信號采集/發射本體（11）、第二電控平面運動裝置（12）和第二控制器（13），其中，信號采集/發射本體（11）與第二電控平面運動裝置（12）相連接，位于密封測試腔體（1）內樣品臺（2）的上方，第二控制器（13）和光電測試儀器（6）位于密封測試腔體（1）的外部，第二電控平面運動裝置（12）通過導線與第二控制器（13）相連接；光電測試儀器（6）通過光纖與信號采集/發射本體（11）相連接。

2.?根據權利要求1所述一種原位多功能光電器件探針測試裝置，其特征在于：還包括第一計算機終端，所述信號采集/發射本體（11）為光采集器，所述光電測試儀器（6）的輸出端與第一計算機終端相連接。

3.?根據權利要求1所述一種原位多功能光電器件探針測試裝置，其特征在于：還包括多功能電源電表和第二計算機終端，所述信號采集/發射本體（11）為發射探頭，所述接線槽（4）內的接線柱經多功能電源電表與第二計算機終端相連接。