[發明專利]使用非球面多焦點透鏡加工脆性基底的設備

有效

• 申請號: 201410284205.7
• 申請日: 2014-06-23
• 公開（公告）號: CN104339084B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發明（設計）人: 申興鉉;金長賢
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: B23K26/067
• 分類號: B23K26/067;B23K26/064;B23K26/38
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 楊生平,鐘錦舜

1.一種用于加工脆性基底的設備，其包括：

激光產生單元，其發射激光束；

反射鏡，其反射從所述激光產生單元發射的所述激光束并且改變所述激光束行進的方向；

擴束器，其改變被所述反射鏡反射的所述激光束的光通量；以及

多焦點透鏡單元，其傳輸已經穿過所述擴束器到達多個焦點上的所述激光束。

2.如權利要求1所述的設備，其中，所述焦點設置在相同的垂直線上。

3.如權利要求2所述的設備，其中，所述焦點設置于其上的所述垂直線是穿過所述擴束器的所述激光束的光軸。

4.如權利要求3所述的設備，其中，所述焦點之間的距離能夠根據有所述焦點設置于其上的加工目標的厚度而被調節。

5.如權利要求4所述的設備，其中，所述焦點包括兩個不同的焦點。

6.如權利要求1所述的設備，其中，所述激光束包括脈沖波激光束。

7.如權利要求1所述的設備，其中，所述激光束包括連續波(CW)激光束。

8.如權利要求1所述的設備，其中，所述多焦點透鏡單元包括：

第一透鏡；以及

第二透鏡，其具有與所述第一透鏡的反射指數不同的反射指數；

所述第二透鏡具有通過具有不同直徑的多個共軸圓限定的多個球面部分，所述球面部分具有不同的曲率。

9.如權利要求8所述的設備，其中，所述第二透鏡的大小或者所述球面部分的大小能夠根據所述第二透鏡的放大率或者所述球面部分的放大率被調節。

10.如權利要求8所述的設備，其中，所述球面部分具有相同的水平截面面積。