[發(fā)明專利]使用非球面多焦點(diǎn)透鏡加工脆性基底的設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410284205.7
• 申請(qǐng)日: 2014-06-23
• 公開（公告）號(hào): CN104339084B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申興鉉;金長(zhǎng)賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/067
• 分類號(hào): B23K26/067;B23K26/064;B23K26/38
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 楊生平,鐘錦舜

1.一種用于加工脆性基底的設(shè)備，其包括：

激光產(chǎn)生單元，其發(fā)射激光束；

反射鏡，其反射從所述激光產(chǎn)生單元發(fā)射的所述激光束并且改變所述激光束行進(jìn)的方向；

擴(kuò)束器，其改變被所述反射鏡反射的所述激光束的光通量；以及

多焦點(diǎn)透鏡單元，其傳輸已經(jīng)穿過(guò)所述擴(kuò)束器到達(dá)多個(gè)焦點(diǎn)上的所述激光束。

2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述焦點(diǎn)設(shè)置在相同的垂直線上。

3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中，所述焦點(diǎn)設(shè)置于其上的所述垂直線是穿過(guò)所述擴(kuò)束器的所述激光束的光軸。

4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其中，所述焦點(diǎn)之間的距離能夠根據(jù)有所述焦點(diǎn)設(shè)置于其上的加工目標(biāo)的厚度而被調(diào)節(jié)。

5.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中，所述焦點(diǎn)包括兩個(gè)不同的焦點(diǎn)。

6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述激光束包括脈沖波激光束。

7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述激光束包括連續(xù)波(CW)激光束。

8.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述多焦點(diǎn)透鏡單元包括：

第一透鏡；以及

第二透鏡，其具有與所述第一透鏡的反射指數(shù)不同的反射指數(shù)；

所述第二透鏡具有通過(guò)具有不同直徑的多個(gè)共軸圓限定的多個(gè)球面部分，所述球面部分具有不同的曲率。

9.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中，所述第二透鏡的大小或者所述球面部分的大小能夠根據(jù)所述第二透鏡的放大率或者所述球面部分的放大率被調(diào)節(jié)。

10.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中，所述球面部分具有相同的水平截面面積。