[發(fā)明專利]一種精細操作系統(tǒng)及其距離測量的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410276124.2
• 申請日: 2014-06-19
• 公開（公告）號: CN104048643A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設計）人: 劉明
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01C3/00
• 分類號: G01C3/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 刁文魁;唐秀萍

【技術領域】

本發(fā)明涉及顯示技術領域，特別是涉及一種精細操作系統(tǒng)及使用其進行距離測量的方法。

【背景技術】

測量與某個物體之間的距離是最為廣泛的應用之一，而在顯示領域中，譬如液晶顯示器、有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器、低溫多晶硅顯示器的制造領域中，測量距離更為重要也更為精細。

在薄膜場效應晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)生產過程中，許多工序譬如：陣列檢測距離的判定、液晶面板配向膜(Cell?PI)的涂布、液晶面板滴下制程(Cell?ODF)的框膠涂布、液晶面板切割(Cell?Cut)、模塊的對位等，都需要在距離玻璃基板一定高度的地方，使用移動設備對玻璃基板進行作業(yè)或者進行對位。

目前工藝制程中用來檢測移動設備11與玻璃基板13之間的距離方法有兩種，第一種是通過已知的數據計算移動設備11與玻璃基板13之間的距離H。如圖1所示，由于移動設備11和操作平臺12之間有比較大的空間，而玻璃基板13的厚度D有一定的規(guī)格，D通常為0.3mm—0.7mm。這種方法得到的H數值(即移動設備11與玻璃基板12的距離)比較粗略，并且H值是通過計算得出，即通過定期校正測量移動設備11和操作平臺12之間的高度L，減去玻璃基板13的厚度D。這種計算距離的方法用于一些對距離精度要求不高的設備的測距中，并且還需要通過定期調整檢測來校正，效率低下。

第二種測距的方法就是通過更精確的模型計算，例如滴下制程工序的框膠涂布，原理如圖2所示。

通過操作平臺的反光以及玻璃基板的反光，然后通過設備上受光鏡片接收反光，通過計算發(fā)光光束及發(fā)射光光束之間的夾角來計算操作平臺與玻璃基板之間的距離，具體原理圖請參考圖2所示。這種方法是通過調整受光鏡片21來接收反射光，然后通過調整受光鏡片21的角度來計算移動設備與玻璃基板之間的距離。這種方法主要問題是必須通過接收反射光來計算距離，而反射光在玻璃基板上反射之后的強度聚散性大大減弱，這樣就會大大降低測量的精度，同時通過調整受光鏡片21計算距離的方式，也時常存在較大的誤差。所以這種方法不能用于很精細的設備測距上。

【發(fā)明內容】

本發(fā)明的目的在于提供一種精細操作系統(tǒng)及使用其進行距離測量的方法，以提高距離測量的精度和工作效率。

為解決上述技術問題，本發(fā)明構造了一種精細操作系統(tǒng)，所述精細操作系統(tǒng)包括：

移動設備，用于對待處理物品進行精細操作或精細檢測；

操作平臺，用于承載所述待處理物品；

測距裝置，用于檢測所述移動設備與所述待處理物品表面之間的距離，其包括：

圖像接收器，其具有一圖像接收平面，所述圖像接收平面與所述操作平臺的承載面平行；以及

透鏡，所述透鏡的主光軸與所述圖像接收平面垂直，所述透鏡的光心與所述圖像接收平面的距離為一預設距離；以及

位置調節(jié)器，用于調整所述測距裝置與所述操作平臺之間的距離，使得所述圖像接收平面上的所述待處理物品的成像大小與所述待處理物品的沿透鏡的光軸投影的圖像大小相同。

在本發(fā)明的精細操作系統(tǒng)中，其中，所述測距裝置具有一初始位置；

所述測距裝置的初始位置為：沿第一直線方向的所述透鏡的橫截面和所述移動設備的底部所在的平面處于同一參考平面；其中，所述第一直線為：與所述透鏡主光軸垂直且經過的所述透鏡的光心的直線；

所述位置調節(jié)器還用于以所述參考平面為基準位置調整所述測距裝置與所述操作平臺之間的距離。

在本發(fā)明的精細操作系統(tǒng)中，所述測距裝置沿所述透鏡的光軸方向靠近所述操作平臺或者遠離所述操作平臺。

在本發(fā)明的精細操作系統(tǒng)中，所述預設距離為所述透鏡的焦距的2倍。

在本發(fā)明的精細操作系統(tǒng)中，所述透鏡為凸透鏡或者凹透鏡。

本發(fā)明的另一個目的在于提供一種使用精細操作系統(tǒng)進行距離測量的方法，所述精細操作系統(tǒng)包括：

移動設備，用于對待處理物品進行精細操作或精細檢測；

操作平臺，用于承載所述待處理物品；

測距裝置，用于檢測所述移動設備與所述待處理物品表面之間的距離，其包括：

圖像接收器，其具有一圖像接收平面，所述圖像接收平面與所述操作平臺的承載面平行；以及

透鏡，所述透鏡的主光軸與所述圖像接收平面垂直，所述透鏡的光心與所述圖像接收平面的距離為一預設距離；以及