[發(fā)明專利]濕刻蝕設(shè)備及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410276096.4
• 申請(qǐng)日: 2014-06-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104064456A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柴立
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/306
• 分類號(hào): H01L21/306;H01L21/687
• 代理公司: 北京聿宏知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;劉華聯(lián)

1.一種濕刻蝕設(shè)備，其特征在于，包括：

能夠噴淋刻蝕液的噴淋裝置；

能夠存儲(chǔ)刻蝕液的儲(chǔ)液槽；以及

用于夾持待刻蝕的玻璃基板的夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)與所述儲(chǔ)液槽的側(cè)壁內(nèi)壁相鄰地設(shè)置，并使得所述玻璃基板的具有光學(xué)膜層的一側(cè)能夠承接來(lái)自所述噴淋裝置的刻蝕液，

其中，所述夾持機(jī)構(gòu)能夠沿所述儲(chǔ)液槽的深度方向運(yùn)動(dòng)，并相應(yīng)地帶動(dòng)所述玻璃基板沿所述儲(chǔ)液槽的深度方向運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕刻蝕設(shè)備，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)包括：

位于所述玻璃基板的背離所述儲(chǔ)液槽的底部的一側(cè)的夾具；以及

位于所述玻璃基板的朝向所述儲(chǔ)液槽的底部的一側(cè)的托持件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濕刻蝕設(shè)備，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)還包括夾具轉(zhuǎn)軸，所述夾具轉(zhuǎn)軸的軸向方向垂直于所述儲(chǔ)液槽的深度方向，且平行于與其相鄰的所述儲(chǔ)液槽的側(cè)壁的延伸方向，所述夾具能夠圍繞所述夾具轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濕刻蝕設(shè)備，其特征在于，所述夾具和所述托持件均構(gòu)造為從與所述儲(chǔ)液槽的側(cè)壁相鄰的位置處延伸出來(lái)的具有平坦表面的板體，且在垂直于所述夾具轉(zhuǎn)軸的軸向方向的方向上，所述托持件的尺寸大于相應(yīng)的所述夾具的尺寸。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濕刻蝕設(shè)備，其特征在于，所述夾具能夠在平行且貼合于所述玻璃基板的位置和垂直于所述玻璃基板的位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)，所述托持件垂直于所述儲(chǔ)液槽的側(cè)壁。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濕刻蝕設(shè)備，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)構(gòu)造為通過(guò)軌道、鏈條、頂桿、電磁部件或位于所述儲(chǔ)液槽的側(cè)壁內(nèi)壁上的卡槽中的一種或多種方式來(lái)運(yùn)動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的濕刻蝕設(shè)備，其特征在于，沿俯視視角觀測(cè)，所述儲(chǔ)液槽為矩形，在所述矩形的長(zhǎng)邊和短邊上均等間隔地布置有所述夾持機(jī)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的濕刻蝕設(shè)備，其特征在于，在所述儲(chǔ)液槽下部設(shè)置有運(yùn)輸輥，所述儲(chǔ)液槽通過(guò)所述運(yùn)輸輥進(jìn)行移動(dòng)。

9.一種濕刻蝕方法，其特征在于，包括：

a)設(shè)置根據(jù)權(quán)利要求1到8中任一項(xiàng)所述的濕刻蝕設(shè)備；

b)向所述儲(chǔ)液槽中添加設(shè)定量的刻蝕液；

c)通過(guò)所述夾持機(jī)構(gòu)將待刻蝕的玻璃基板夾持住；

d)當(dāng)需要采用浸漬模式來(lái)進(jìn)行刻蝕時(shí)，所述夾持機(jī)構(gòu)沿深度方向朝向所述儲(chǔ)液槽的底部運(yùn)動(dòng)，使得所述玻璃基板浸沒(méi)于所述儲(chǔ)液槽中的刻蝕液中；

當(dāng)需要采用噴淋模式來(lái)進(jìn)行刻蝕時(shí)，所述夾持機(jī)構(gòu)沿深度方向背離所述儲(chǔ)液槽的底部運(yùn)動(dòng)，使得所述玻璃基板與所述儲(chǔ)液槽中的刻蝕液分離并承接來(lái)自所述噴淋裝置的刻蝕液。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，在步驟d)中，針對(duì)同一個(gè)玻璃基板，其相對(duì)兩側(cè)的所述夾持機(jī)構(gòu)在所述儲(chǔ)液槽的深度方向上的位置不同，以使所述玻璃基板傾斜。