[發明專利]一種MOCVD石墨盤自動傳遞機構

有效

• 申請號: 201410274883.5
• 申請日: 2014-06-19
• 公開（公告）號: CN104030037A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 蒲勇;趙鵬
• 申請（專利權）人: 南昌大學;南昌黃綠照明有限公司
• 主分類號: B65G49/00
• 分類號: B65G49/00
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 張文

1.一種MOCVD石墨盤自動傳遞機構，包括安裝在反應室底板下面的固定座，特征是：升降直線導軌豎向固定在固定座的中上部，在升降直線導軌上安裝有可以在升降直線導軌上作上下移運動的升降滑塊，在升降滑塊上固接有安裝板；在安裝板的上部和中部固接有兩個內套有軸承的上軸承座組件和下軸承座組件，旋轉軸的中部和底部分別緊配合安裝在上軸承座組件和下軸承座組件內套軸承的內圈上；直線推桿通過夾塊用內六角螺釘固接在固定座的下端、升降直線導軌的底端，直線推桿的活動伸出端通過鉸接孔與鉸接座相鉸接，鉸接座固接在與升降滑塊固接在一起的上軸承座組件的軸承座上；電機支撐座固接在固定座的中下部，步進電機固接在電機支撐座下部，步進電機的輸出軸通過聯軸器與旋轉軸的底端連接，聯軸器采用撓性結構，旋轉位置檢測光電開關固接在電機支撐座上部；在旋轉軸的頂端固接有支撐板，在支撐板上的中間固接有伸縮直線導軌，在伸縮直線導軌上安裝有可以在伸縮直線導軌上作水平移運動的伸縮滑塊，在伸縮滑塊上固接有墊塊，在支撐板上的后部固接有無桿氣缸；石墨盤傳遞叉的底端固接在墊塊上，無桿氣缸移動活塞座固接在墊塊上；用于檢測和控制石墨盤傳遞叉升降高度位置的光電開關安裝在固定座上、升降直線導軌的后面，通過檢測安裝在升降滑塊安裝板側面的光電開關檢測板的位置變化，通過反饋信號閉環控制，保證石墨傳遞叉升降升降位置精確可靠。

2.根據權利要求1所述的MOCVD石墨盤自動傳遞機構，其特征在于：在上軸承座組件上方的旋轉軸上固接有旋轉限位塊，在安裝板的前側面安裝有右帶旋轉緩沖彈簧的旋轉擋塊組件，旋轉限位塊在旋轉中能碰觸旋轉擋塊組件，旋轉擋塊組件起到限制旋轉軸旋轉角度的作用。

3.根據權利要求1所述的MOCVD石墨盤自動傳遞機構，其特征在于：在支撐板上的左端安裝有帶伸縮緩沖彈簧的伸縮擋塊組件，用于石墨傳遞叉伸縮到位的限位，保證石墨傳遞叉到位平穩。

4.根據權利要求1所述的MOCVD石墨盤自動傳遞機構，其特征所述的直線推桿驅動MOCVD石墨盤自動傳遞機構實現升降功能也可選擇用氣缸或液壓油缸驅動MOCVD石墨盤自動傳遞機構來實現升降功能。

5.根據權利要求1所述的MOCVD石墨盤自動傳遞機構，其特征所述旋轉緩沖彈簧和伸縮緩沖彈簧也可選擇用空氣彈簧或緩沖橡膠來實現有效緩沖和機械限位功能。