[發明專利]一種MOCVD石墨盤自動傳遞機構

有效

• 申請號: 201410274883.5
• 申請日: 2014-06-19
• 公開（公告）號: CN104030037A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 蒲勇;趙鵬
• 申請（專利權）人: 南昌大學;南昌黃綠照明有限公司
• 主分類號: B65G49/00
• 分類號: B65G49/00
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 張文

技術領域

本發明涉及MOCVD裝備制造技術領域，尤其是涉及一種MOCVD石墨盤自動傳遞機構。

背景技術

金屬有機化學氣相沉積系統（MOCVD）是半導體材料生產的主要設備。自動傳遞機構大量應用于MOCVD設備中，它實現了從取送樣室到反應室之間裝載基片石墨盤的傳遞，節省了勞動量，提高了安全性和生產效率。但是，目前市場上的同類型機構結構復雜，價格昂貴，不利于降低生產成本；并且由于位置檢測及位置重復性都不是很好，反而降低了生產效率。

發明內容：

本發明的目的在于提供一種位置精度高、重復性好、結構簡單、造價低、工作準確可靠的MOCVD石墨盤自動傳遞機構。

本發明的目的是這樣實現的：

一種MOCVD石墨盤自動傳遞機構，包括安裝在反應室底板下面的固定座，特征是：升降直線導軌豎向固定在固定座的中上部，在升降直線導軌上安裝有可以在升降直線導軌上作上下移動的升降滑塊，在升降滑塊上固接有安裝板；在安裝板的上部和中部分別固接有兩個都內套有軸承的上軸承座組件和下軸承座組件，旋轉軸的中部和底部分別緊配合安裝在上軸承座組件和下軸承座組件內套軸承的內圈上；直線推桿通過夾塊用內六角螺釘固接在固定座的下端、升降直線導軌的底端，直線推桿的活動伸出端通過鉸接孔與鉸接座相鉸接，鉸接座固接在與升降滑塊固接在一起的上軸承座組件的軸承座上；電機支撐座固接在固定座的中下部，步進電機固接在電機支撐座下部，步進電機的輸出軸通過聯軸器與旋轉軸的底端連接，聯軸器采用撓性結構，旋轉位置檢測光電開關固接在電機支撐座上部；在旋轉軸的頂端固接有支撐板，在支撐板上的中間固接有伸縮直線導軌，在伸縮直線導軌上安裝有可以在伸縮直線導軌上作水平移動的伸縮滑塊，在伸縮滑塊上固接有墊塊，在支撐板上的后部固接有無桿氣缸；石墨盤傳遞叉的底端固接在墊塊上，無桿氣缸移動活塞座固接在墊塊上；用于檢測和控制石墨盤傳遞叉升降高度位置的升降位置檢測光電開關安裝在固定座上、升降直線導軌的右側面，通過檢測由直線推桿驅動安裝板帶動光電開關檢測板一起發生升降的位置變化并反饋信號閉環控制，保證石墨傳遞叉升降位置精確可靠。

在上軸承座組件上方的旋轉軸上固接有旋轉限位塊，在安裝板的前側面安裝有兩個帶旋轉緩沖彈簧的旋轉擋塊組件，旋轉限位塊在旋轉中能碰觸旋轉擋塊組件，旋轉擋塊組件起到限制旋轉軸旋轉角度的作用。

在支撐板上的左端安裝有帶伸縮緩沖彈簧的伸縮擋塊組件，用于石墨傳遞叉伸縮到位的限位，保證石墨傳遞叉到位平穩。

本發明由固定座、直線推桿、升降直線導軌、旋轉軸、旋轉擋塊組件、旋轉限位塊、步進電機、支撐板、伸縮直線導軌、無桿氣缸、石墨盤傳遞叉等組成，工作時，步進電機得電，步進電機驅動旋轉軸進行轉動，實現支撐板繞旋轉軸的0～180°往復圓周運動，并且利用旋轉擋塊組件和旋轉限位塊這種機械限位，不但使得支撐板在旋轉到位后的位置精準，重復精度高，而且旋轉限位塊旋轉到位后軸向均勻分布的旋轉緩沖彈簧會產生2mm左右的偏移緩沖量，防止旋轉位置檢測光電開關因長時間工作產生振動而造成旋轉軸發生位置偏移，得到有效緩沖，保證到位平穩。本發明通過直線推桿和無桿氣缸的伸縮分別實現整個機構在垂直面和水平面的伸縮運動。

本發明的有益效果是：

1、本發明提供了一種位置精度高、重復性好、結構簡單、造價低、工作準確可靠的MOCVD石墨盤自動傳遞機構。

2、本發明具有采用機械限位使得在傳遞過程中位置準確、重復性好、結構簡單、造價低、工作準確可靠等優點。

3、采用該裝置可顯著提高MOCVD生產半導體材料的效率，可促進半導體行業的發展。

附圖說明：

圖1是為本發明的結構示意圖；

圖2為圖1的正視圖；

圖3為圖2中A處的放大圖；

圖4為本發明處于工作過程的狀態示意圖。

具體實施方式：

下面結合實例并對照附圖對本發明進行進一步的說明。