[發明專利]一種陣列基板檢測設備

在審

• 申請號: 201410273951.6
• 申請日: 2014-06-18
• 公開（公告）號: CN104090387A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 馬禹
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G01R31/02
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

技術領域

本發明涉及液晶顯示技術領域，具體地，涉及一種陣列基板檢測設備。

背景技術

在薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display，以下簡稱為TFT-LCD)的制備工藝中，在玻璃基板上制備出多個陣列基板后，為保證產品的質量，需要采用檢測設備對陣列基板中的像素進行檢測，以避免在后續生產流程中，生產出存在缺陷的產品。

圖1為現有的對陣列基板進行檢測的示意圖。如圖1所示，在檢測陣列基板1時，信號輸入單元(圖中未示出)運動至需要檢測的陣列基板1上方，與設于玻璃基板2上，且分別與該陣列基板1的數據線和柵極線連接的多個檢測端子3連接，并向該陣列基板1的數據線和柵極線輸出數據信號和柵極信號等檢測信號；同時，信號檢測單元(圖中未示出)運動至該陣列基板1上方，采集該陣列基板1上各像素的電學波形信號，確定該陣列基板1上的像素是否存在缺陷。

在實際應用中，由于對陣列基板1進行檢測時，信號輸入單元和信號檢測單元均位于陣列基板1的上方，因此，信號檢測單元采集陣列基板1上像素的電學波形信號時會受到信號輸入單元的部分遮擋，導致其無法采集陣列基板1上被遮擋區域的電學波形信號，從而對于上述被遮擋區域，檢測設備無法檢測該區域內的像素是否存在缺陷，在此情況下，若上述區域的像素存在缺陷，則會導致產品的不良率提高。

此外，隨著技術的發展，玻璃基板2的利用率越來越高，相鄰的陣列基板1之間的間距越來越小，使相鄰兩個陣列基板1之間的間距不足以設置檢測端子，如圖2所示，在此情況下，將與多個陣列基板1對應的多組檢測端子設置在位于一行的多個陣列基板1的左側(或右側)；在對陣列基板1進行檢測的過程中，信號輸入單元同時與多組檢測端子3連接，向多個陣列基板1同時輸入檢測信號，從而實現對多個陣列基板1的同時檢測。在實際應用中，若同時檢測的多個陣列基板1中的像素均不存在缺陷，上述檢測方法可以大幅提高對陣列基板1的檢測效率，但在任意一個或多個陣列基板1中的像素存在缺陷時，檢測設備無法在多個陣列基板1中準確地識別和區分出存在缺陷的像素所屬的陣列基板1。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種陣列基板檢測設備，其信號輸入單元與多個陣列基板連接的線路上設有通斷開關，使其可以單獨地對其中任意一個陣列基板進行檢測，使陣列基板檢測設備可以準確地區分出像素存在缺陷的陣列基板。

為實現本發明的目的而提供一種陣列基板檢測設備，包括信號輸入單元和信號檢測單元，所述信號輸入單元與多個陣列基板連接，用以向多個所述陣列基板輸入檢測信號，所述信號檢測單元用于采集所述陣列基板中各像素的電學波形信號，并確定陣列基板上的像素是否存在缺陷，每個所述陣列基板和所述信號輸入單元之間均連接有通斷開關。

其中，連接于多個所述陣列基板和所述信號輸入單元之間的多個通斷開關依次開啟，以分別對多個所述陣列基板進行檢測。

其中，所述信號輸入單元包括與所述陣列基板的數據線連接的數據信號子單元和與所述陣列基板的柵極線連接的柵極信號子單元；所述數據信號子單元用于向所述陣列基板的數據線輸入數據信號；所述柵極信號子單元用于向所述陣列基板的柵極線輸入柵極信號；所述通斷開關包括第一通斷開關和第二通斷開關，所述第一通斷開關連接于所述數據信號子單元和所述陣列基板的數據線之間，所述第二通斷開關連接于所述柵極信號子單元和所述陣列基板的柵極線之間。

其中，所述第一通斷開關和所述第二通斷開關均為薄膜晶體管；所述第一通斷開關的源極與所述數據信號子單元連接，所述第一通斷開關的漏極與所述陣列基板的數據線連接，所述第一通斷開關的柵極與控制器連接，所述控制器通過向所述第一通斷開關的柵極加載正電壓或負電壓，控制所述第一通斷開關開啟或關閉；所述第二通斷開關的源極與所述柵極信號子單元連接，所述第二通斷開關的漏極與所述陣列基板的柵極線連接，所述第二通斷開關的柵極與所述控制器連接，所述控制器通過向所述第二通斷開關的柵極加載正電壓或負電壓，控制所述第二通斷開關開啟或關閉。

其中，所述第一通斷開關和第二通斷開關的柵極形成為一體，且與所述控制器連接。

其中，多個所述陣列基板所在的玻璃基板上設有多組檢測端子，多組所述檢測端子與多個所述陣列基板一一對應地連接，且多組所述檢測端子與所述信號輸入單元連接。

其中，每組所述檢測端子包括至少一個與其對應的陣列基板的數據線連接的檢測端子，和/或，至少一個與其對應的陣列基板的柵極線連接的檢測端子。