[發明專利]一種改進產品標準的方法

在審

• 申請號: 201410273592.4
• 申請日: 2014-06-18
• 公開（公告）號: CN105204377A
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 沈曉棟;邵雄
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G05B19/04
• 分類號: G05B19/04;H01L21/66
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 吳俊

1.一種改進產品標準的方法，應用于晶圓缺陷掃描，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟S1，對晶圓進行缺陷掃描，若所述晶圓沒有超出標準，則放行進行下一步操作，若所述晶圓缺陷掃描超出設定規格，則操作系統報警，進行步驟S2；

步驟S2，良率工程師通過數據分析軟件對報警的晶圓進行初步判斷并選擇進行重新測量或者增加晶圓掃描片數和微觀檢查；

步驟S3，根據步驟S2操作結果由良率工程師判斷所述操作系統報警原因，并根據所述報警原因進行調整出現的缺陷；

重復步驟S2-S3，直至修復產生的缺陷。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S2中的重新測量即是重復一次相同的派工掃描。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S2中的增加晶圓掃描片數即增加掃描一批產品的某些單序號或雙序號數的晶圓。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S2中的微觀檢查為使用另一種機臺進行微觀檢測，得到并放大晶圓缺陷位置。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S3中確定進行增加晶圓掃描片數和微觀檢查操作后，良率工程師根據初步的缺陷判斷，調整掃描程式、掃描機臺和掃描晶圓。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，掃描機臺具備有標準規格控制軟件。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述操作系統為自動生產物料運輸系統。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述自動物料運輸系統包括：自動調用產品機臺，自動掃描機臺，自動目檢機臺。