[發(fā)明專利]高吸收率太陽能薄膜有效

申請?zhí)枺?/td>	201410268647.2	申請日：	2014-06-17
公開（公告）號：	CN104051553A	公開（公告）日：	2014-09-17
發(fā)明（設計）人：	齊紅基;王虎;王斌;王胭脂;易葵	申請（專利權）人：	中國科學院上海光學精密機械研究所
主分類號：	H01L31/0352	分類號：	H01L31/0352;H01L31/028
代理公司：	上海新天專利代理有限公司 31213	代理人：	張澤純
地址：	201800 ***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	吸收率太陽能薄膜
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【權利要求書】：

1.一種高吸收率太陽能薄膜，其特征在于包括薄膜襯底(200)和高吸收率太陽能薄膜的多層膜(100)，所述的高吸收率太陽能薄膜的多層膜(100)包括四種膜層:AlN膜層(3)、Si膜層(2)、HfO₂膜層(3)和SiO₂膜層(4)共34層，在所述的薄膜襯底(200)上依次的膜系結構為：

膜層材料厚度(nm)膜層材料厚度(nm)1AlN1638.921AlN59.22Si1239.922Si1561.83AlN146.823AlN21.74Si153.524Si1557.25AlN237.125AlN50.16Si125.926Si745.47AlN167.827AlN371.48Si101.128Si11532.59AlN92.829HfO214.410Si121.730Si16.311AlN166.431AlN32.112Si141.532Si4.513AlN228.433HfO245.014Si152.734SiO285.015AlN149.035??16Si906.636??17AlN82.937??18Si203.538??19AlN89.839??20Si562.240??

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