[發(fā)明專利]用于大半導(dǎo)體行業(yè)的抽真空裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410265696.0
• 申請日: 2014-06-16
• 公開（公告）號: CN105201871A
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭洪
• 申請（專利權(quán)）人: 上海協(xié)微精密機械有限公司;BSA株式會社
• 主分類號: F04D17/12
• 分類號: F04D17/12;F04D29/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空獲得裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種用于大半導(dǎo)體行業(yè)的抽真空裝置。

背景技術(shù)

大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMIPVLEDFPD等)用的抽真空裝置10包括連接到工藝設(shè)備的工藝腔或者上載-卸載腔的真空泵20，真空泵包括泵體21，里面的5級轉(zhuǎn)子R1，R2，R3，R4，R5，及驅(qū)動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動的馬達22，及真空泵20的入口管23；順序連接在真空泵排氣端的單向閥28及中間連接管道25，在真空泵20工作時此單向閥28僅允許真空泵排氣氣流向大氣側(cè)；一個與單向閥28并行連接的相對小抽速的輔助泵30及中間連接管道26，此輔助泵用來在真空泵等待狀態(tài)時降低真空泵20的排氣壓力。

工藝設(shè)備的上載-卸載腔和真空泵20之間的截止閥打開時，真空泵20工作將工藝設(shè)備的上載-卸載腔抽到真空狀態(tài)，而此時輔助泵30無作用。然而當(dāng)工藝設(shè)備的上載-卸載腔和真空泵20之間的截止閥關(guān)斷時，真空泵20進入等待狀態(tài)，此時輔助泵30開始作用，降低真空泵20的排氣端壓力，從而降低真空泵20的負載。特別地，對于多級結(jié)構(gòu)的真空泵20來說位于排氣端的轉(zhuǎn)子R5相對于R1，占到最大的壓縮比，R5段的功耗占到真空泵總功耗的最大比例。相應(yīng)地輔助泵30能夠降低施加于R5的負載，從而能夠極大地降低真空泵20的總功耗。

然而，用于降低真空泵20的排氣端負載的輔助泵30有一些如下固有的問題：

1)輔助泵30需要額外的購置成本。

2)既然輔助泵30不能夠簡單地連接到排氣管25，需要復(fù)雜的附加排氣管26。此會產(chǎn)生管道成本，安裝成本，占地費用。

3)即使輔助泵30相對是小抽速的泵，但是它本身還是需要額外的功耗。

綜上幾點，采用輔助泵降低真空泵總功耗存在固有的局限，達不到滿意的水平。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：節(jié)約成本，降低能耗，延長真空泵使用壽命。

為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是：一種用于大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMIPVLEDFPD等)的抽真空裝置，包括真空泵和用于降低所述真空泵負載的減壓模塊，所述真空泵包括泵體，泵入口管，五級轉(zhuǎn)子，驅(qū)動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動的泵馬達以及連接所述真空泵和所述減壓模塊的真空管道。

進一步的是：所述減壓模塊包括順序連接在所述真空泵排氣端的第一分管，安裝在第一分管中間僅允許真空泵的排氣從真空泵到大氣壓側(cè)的單向閥，從第一分管分支出來的用來旁通單向閥的第二分管，位于第二分管中間的真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器利用外部載氣讓載氣從外部流入，后流向大氣壓側(cè)，從而降低真空泵排氣壓力。

進一步的是：所述減壓模塊包括真空發(fā)生器，載氣接口，扁平緊湊的自鎖法蘭連接的真空泵側(cè)法蘭和大氣壓側(cè)法蘭，兩個法蘭中間設(shè)置單向閥，不用改變現(xiàn)存的真空泵排氣端管道；

進一步的是：所述減壓模塊被密封安裝于保護盒子中，所述保護盒子外圍包括載氣進氣管及法蘭，連接真空泵排氣側(cè)管道及法蘭，及大氣排氣管道及法蘭。

進一步的是：所述真空發(fā)生器包括讓外部載氣流入的進口段，讓載氣流出的出口段，連接進口段和出口段的橫截面，以及連接在橫截面上的中間段，還包括與中間段連接在一起的第二分管的進口管。

進一步的是：所述真空發(fā)生器的連接進口段和出口段的橫截面跟進口段和出口段截面相比突然變小，從而使載氣的流速徒然增加。

進一步的是：所述真空泵通過真空管道與工藝設(shè)備的上載-卸載腔連接，所述真空管道上設(shè)置截止閥。

本發(fā)明的用于大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMIPVLEDFPD等)的抽真空裝置，包含的減壓模塊利用高壓氣流和文丘里效應(yīng)來降低真空泵排氣端的壓力，由于只用載氣，此模塊不需要額外的電耗，就能夠降低真空泵的負載從而到達節(jié)能的目的。

此減壓模塊包括順序連接于真空泵排氣端的第一分管；一個安裝于第一分管僅使真空泵工作排氣時從真空泵流向大氣側(cè)的單向閥；一個從第一分管分支出來的用來旁通單向閥的第二分管；一個安裝于第二分管上的真空發(fā)生器，此真空發(fā)生器從外部接入高壓載氣，通過文丘里效應(yīng)產(chǎn)生降壓作用，從而讓真空泵的排氣壓力降低，在真空泵處于等待狀態(tài)時讓氣流通過真空發(fā)生器流向大氣側(cè)。

真空發(fā)生器包含載氣流入管及通過的入口段；連接到第二分管大氣壓側(cè)的氣體出口段；連接入口段和出口段的橫截面的中間段。當(dāng)載氣從入口端流向出口段的過程中橫截面急劇變小時載氣的流速陡然增加，產(chǎn)生文丘里效應(yīng)，從而在中間段產(chǎn)生壓降作用。

附圖說明

圖1是本發(fā)明抽真空裝置結(jié)構(gòu)簡圖；

圖2是本發(fā)明抽真空裝置結(jié)構(gòu)示意圖；