[發明專利]用于大半導體行業的抽真空裝置

在審

• 申請號: 201410265696.0
• 申請日: 2014-06-16
• 公開（公告）號: CN105201871A
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 鄭洪
• 申請（專利權）人: 上海協微精密機械有限公司;BSA株式會社
• 主分類號: F04D17/12
• 分類號: F04D17/12;F04D29/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于大半導體行業的抽真空裝置，其特征在于，包括真空泵和用于降低所述真空泵負載的減壓模塊，所述真空泵包括泵體，泵入口管，五級轉子，驅動轉子轉動的泵馬達以及連接所述真空泵和所述減壓模塊的真空管道。

2.一種權利要求1的用于大半導體行業的抽真空裝置，其特征在于，所述減壓模塊包括順序連接在所述真空泵排氣端的第一分管，安裝在第一分管中部僅允許真空泵的排氣從真空泵到大氣壓側的單向閥，從第一分管分支出來的用來旁通單向閥的第二分管，位于第二分管中間的真空發生器，所述真空發生器利用外部高壓載氣讓載氣從外部流入，后流向大氣壓側，從而降低真空泵排氣壓力。

3.一種權利要求1或者2的用于大半導體行業的抽真空裝置，其特征在于，所述減壓模塊被密封安裝于保護盒子中，所述保護盒子外圍包括載氣進氣管及法蘭，連接真空泵排氣側管道及法蘭，及大氣排氣管道及法蘭。

4.一種權利要求1或者2的用于大半導體行業的抽真空裝置，其特征在于，所述減壓模塊包括真空發生器，載氣接口，扁平緊湊的自鎖法蘭連接的真空泵側法蘭和大氣壓側法蘭，兩個法蘭中間設置單向閥，不用改變現存的真空泵排氣端管道。

5.根據權利要求3或者4所述的用于大半導體行業的抽真空裝置，其特征在于，所述真空發生器包括讓外部載氣流入的進口段，讓載氣流出的出口段，連接進口段和出口段的橫截面，以及連接在橫截面上的中間段，還包括與中間段連接在一起的第二分管的進口管。

6.根據權利要求3或者4所述的用于大半導體行業的抽真空裝置，其特征在于，所述真空發生器的連接進口段和出口段的橫截面跟進口段和出口段截面相比突然變小，從而使載氣的流速徒然增加。

7.根據權利要求1或者2所述的用于大半導體行業的抽真空裝置，其特征在于，所述真空泵通過真空管道與工藝設備的上載-卸載腔連接，所述真空管道上設置截止閥。